反应溅射

作品数：360被引量：954H指数：14
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C_(2)H_(2)流量对反应溅射石墨制备非晶碳膜层结构及性能影响研究
《表面技术》2024年第3期113-122,共10页刘京周 鞠鹏飞 周宏 邢明秀 吴国华 张鼎元 
国家重点研发计划(2022YFB4600103);上海市优秀技术带头人计划(20XD1431400);上海市自然科学基金(21ZR1427900);国防基础科研计划(JCKY2020203B037)。
目的研究反应溅射石墨制备非晶碳过程中乙炔流量变化对非晶碳微观结构、力学性能及摩擦学性能的影响规律。方法通过在乙炔气氛中反应溅射石墨靶,调控乙炔流量,制备不同结构的非晶碳膜层,采用X射线光电子能谱仪、激光共聚焦拉曼光谱仪分...
关键词：乙炔 反应溅射 非晶碳 微观结构 力学性能 摩擦学性能 
制备参数对氧化铌涂层晶相成分与结合性能的影响
《包装学报》2023年第6期34-43,共10页姚泉 王皓 潘旭 李海洋 胡旭军 丁泽良 
湖南省教育厅科学研究基金资助项目(20A159)。
为探讨制备参数对直流反应溅射氧化铌涂层晶相成分与结合性能的影响规律,采用不同的氧气流量、功率和沉积时间,通过直流反应溅射技术在AZ31镁合金表面制备了氧化铌涂层。利用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对涂层进行表征,采用划痕仪...
关键词：镁合金 氧化铌 涂层 反应溅射 结合性能 
纳米氮化钛薄膜对高频陶瓷窗片二次电子发射率的影响研究被引量：2
《真空科学与技术学报》2023年第11期960-966,共7页赵毅红 李芳芳 王博锋 叶成聪 缪雨龙 陈海波 陈荣发 
国家自然科学基金项目(51872254);扬州市校合作专项项目(YZ2021151,YZ2021155)。
纳米TiN薄膜可用来抑制高频陶瓷窗片的二次电子倍增,缩短器件高功率老炼时间,提高微波发射性能。文章通过专用真空镀膜设备,采用同轴圆柱靶和平面靶的直流磁控反应溅射方法,通过优化制备工艺参数,在陶瓷窗片的表面成功制备了纳米氮化钛(...
关键词：磁控反应溅射 纳米TiN 薄膜 高频陶瓷窗片 二次电子发射率 
退火温度对镁合金表面Nb_(2)O_(5)涂层微观结构与性能的影响
《包装学报》2023年第5期15-22,共8页潘旭 王皓 姚泉 李文元 丁泽良 
湖南省自然科学基金资助项目(2023JJ50163);湖南省教育厅科学研究基金资助项目(20A159)。
采用直流反应溅射技术在AZ31镁合金表面制备了Nb_(2)O_(5)涂层,并在不同的温度下对涂层进行退火处理,通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、划痕仪和电化学工作站对Nb_(2)O_(5)涂层的微观形貌、晶相结构、结合性能和耐腐蚀性能...
关键词：反应溅射 氧化铌 退火 结合力 耐腐蚀性能 
溅射工艺参数对氧化铌涂层微观结构与耐蚀性的影响
《包装学报》2023年第4期29-38,共10页李海洋 王皓 胡旭军 李文元 丁泽良 
湖南省自然科学基金资助项目(2023JJ50163);湖南省教育厅科学研究基金资助项目(20A159)。
为揭示溅射工艺参数对氧化铌涂层耐蚀性的影响规律,采用直流反应溅射技术在AZ31镁合金表面制备了不同工艺参数的氧化铌涂层,并通过扫描电镜和电化学工作站对涂层进行微观结构及耐蚀性测试。结果表明:氧气流量对涂层微观结构的影响不显著...
关键词：镁合金 氧化铌 涂层 反应溅射 耐蚀性 
溅射方式对氧化铌涂层微观结构与性能的影响被引量：1
《包装学报》2022年第5期28-35,共8页王皓 丁子彧 袁乾鸿 潘旭 汤迎红 丁泽良 
湖南省自然科学基金资助项目(2020JJ6079);湖南省教育厅科学研究基金资助项目(20A159)。
分别采用射频溅射和射频反应溅射方式在AZ31镁合金表面制备了氧化铌涂层,并利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、多功能材料表面性能试验仪和电化学工作站对比研究了两种涂层的微观形貌、物相组成、附着力和耐腐蚀性...
关键词：AZ31镁合金 射频溅射 反应溅射 氧化铌涂层 
ITO/PET衬底上掠射角溅射沉积WO_(3)薄膜及其电致变色性能被引量：2
《稀有金属材料与工程》2022年第4期1448-1454,共7页王冠杰 王美涵 文哲 魏丽颖 雷浩 孙立贤 徐芬 
辽宁省高等学校创新人才支持计划(LR2019044);辽宁省自然科学基金指导计划项目(2019-ZD-0540);沈阳市中青年科技创新人才支持计划(RC190359);广西信息材料重点实验室开放课题(191007-K)。
采用直流磁控反应溅射法,以不同掠射角度在ITO/PET衬底上沉积WO_(3)薄膜。利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和能谱仪(EDS)对WO_(3)薄膜表面和断面的形貌及化学组成进行表征;利用电化学工作站和紫外分光光度计对WO_(3)薄膜的电化学性能...
关键词：WO_(3)薄膜 ITO/PET衬底 直流磁控反应溅射 掠射角 电致变色性能 
α籽晶促进低温反应溅射沉积α-Al_(2)O_(3)薄膜
《材料研究学报》2022年第1期8-12,共5页李修贤 邱万奇 焦东玲 钟喜春 刘仲武 
国家自然科学基金(51971095);广东省自然科学基金(2020A1515011087)。
分别使用反应溅射Al+α-Al_(2)O_(3)(15%α-Al_(2)O_(3),质量分数)复合靶和在金箔基体表面预植α-Al_(2)O_(3)籽晶,促进α-Al_(2)O_(3)薄膜的低温沉积。使用扫描电子显微镜(SEM)、掠入射X射线衍射(GIXRD)和能谱仪(EDS)等方法表征薄膜样...
关键词：材料表面与界面 α-Al_(2)O_(3) 薄膜 反应溅射 α籽晶 低温沉积 
反应磁控溅射法制备F掺杂ZnO(FZO)薄膜的结构和透明导电性能被引量：1
《材料工程》2021年第11期98-104,共7页祝柏林 郑思龙 谢挺 吴隽 
高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室开放课题基金(SKL201110SIC)。
以Zn/ZnO/ZnF_(2)混合物为靶材,在衬底温度(T_(s))为150℃和300℃、溅射气氛为Ar+O_(2)和Ar+H_(2)下反应溅射制备F掺杂ZnO(FZO)薄膜,研究气体流量、T_(s)以及溅射气氛对薄膜结构及透明导电性能的影响。结果表明:对于Ar+O_(2)下制备的FZ...
关键词：复合靶材 反应溅射 FZO薄膜 透明导电性 禁带宽度 
新材料氮化碳晶体
《超硬材料工程》2021年第4期45-45,共1页无 
通常计算认为C 3N 4可能具有5种结构,即α相,β相,立方相、准立方相以及类石墨相。除了类石墨相外,其他4种结构物质的硬度都可以与金刚石相比拟。在理论的预言下,人们采用各种手段试图在实验室合成出这种新的低密度高硬度的非极性共价...
关键词：等离子体化学气相沉积 离子束沉积 电化学沉积 超硬材料 非晶薄膜 氮化碳 反应溅射 震荡波 
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