复杂形貌试样的扫描电镜成像衬度模拟  

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作  者:王昊彦 李会民[1] 丁泽军[1] 

机构地区:[1]中国科技大学物理系超级运算中心,安徽合肥230026

出  处:《电子显微学报》2006年第B08期139-139,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基  金:国家自然科学基金资助项目(No.10574121;90406024;10025420)

关 键 词:模拟计算 形貌像 试样 扫描电镜 衬度 扫描电子显微学 CARLO方法 背散射电子 

分 类 号:TN16[电子电信—物理电子学]

 

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