木马式连续注入靶室  

作　　者：徐志敏 

机构地区：[1]国营建光机器厂

出　　处：《电子工业专用设备》1989年第1期12-13,共2页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：靶室是离子注入机的关键部件之一,它对于提高注入机的注入速度、注入质量以及使注入机能开展多方面的实验研究,都有一定的影响。我厂研制的T45 200—1/ZK型微控中束流离子注入机靶室是仿日本真空技术株式会社200—DF_4型离子注入机而设计的一种木马式连续注入靶室。下面就该靶室总体情况作简要介绍。

关 键 词：离子注入机 靶室 木马式 连续注入 

分 类 号：TN305.3[电子电信—物理电子学]