氮化铝陶瓷批量生产中烧成技术研究  

作　　者：黄岸兵[1] 崔嵩[1] 

机构地区：[1]电子部43所

出　　处：《混合微电子技术》1996年第4期24-28,共5页Hybrid Microelectronics Technology

摘　　要：本文通过对氮化铝陶瓷批量生产烧成技术的五个关键因素；ＡｌＮ粉选择，坩埚设计，排胶工艺，烧成稳定性，基片尺寸控制的研究，使ＡｌＮ陶瓷生产技术逐步完善。建立了年产２００万１ｃｍ＾２的ＡｌＮ陶瓷生产线。

关 键 词：陶瓷 烧结技术 氮化铝 

分 类 号：TF125.4[冶金工程—粉末冶金]