东南大学MEMS教育部重点实验室  

出　　处：《Journal of Semiconductors》2006年第9期F0002-F0002,共1页半导体学报（英文版）

摘　　要：1．简介 东南大学1983年就开始了集成传感器的研究，并于1985年在欧洲固态电子器件会议《ESSDERCφ88，Germany，p.88》报道了集成MOS流量传感器的研究结果：1986年开始了硅片直接键合技术研究．并于1987年在——《Applied Surface Science，30（2），397（1987）》报道了硅键合材料的测试结果；1987年开始了微传感器CAD研究，并于1988年在《Solid State Electronics，31（2），237（1988）》报道了MOS磁电耦合的计算机模拟结果。

关 键 词：教育部重点实验室 东南大学 MEMS 集成传感器 固态电子器件 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]