正胶铬板图象反转技术的研究  被引量:1

Investigation of The Image Reversal Technique of Positive Chrome Plate

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作  者:薛耀国[1] 朱长纯[1] 陈福山[1] 

机构地区:[1]西安交通大学真空微电子与微电子机械研究所,西安微电子技术研究所

出  处:《微电子学与计算机》1996年第3期53-55,共3页Microelectronics & Computer

基  金:国家自然科学基金

摘  要:本文阐术了在S-1400正胶中加入适量咪唑,使正胶不仅具有原来特性,而且经一定工艺处理后还具有负胶的功能。在制造铬板时,用这种胶涂敷的铬板既可当正胶板用也可作负胶板用,即得到“正负两型”铬板。Image reversal of S - 1400 series photoresist from positive to negative has been realized by added proper imidazole in it. In the chrome plate making, the chrome plate which was coated with the photoresist not only has the characteristic of positive but also that of negative.

关 键 词:铬板 图象反转 正胶铬板 集成电路 光刻 

分 类 号:TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]

 

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