a-C:H:N薄膜结构和光学特性的研究  

作　　者：刘益春[1] 刘玉学[1] 齐秀英[1] 邢旭[1] 孔祥贵[2] 

机构地区：[1]东北师范大学物理系,长春130024 [2]中国科学院长春物理研究所激发态物理开放研究实验室,长春130021

出　　处：《科学通报》1996年第15期1379-1382,共4页Chinese Science Bulletin

摘　　要：近年来,由于a-C:H薄膜所具有的类金刚石结构特征和广泛的应用前景,因而在固体物理和技术两方面成为研究的热点。人们已经研制了a-C:H薄膜做为有源层的光发射二极管,但这些器件的性能还不能满足实际应用的需要。其原因之一是对a-C:H材料还没有建立一个有效的掺杂过程。因此,目前许多人还在致力于对a-C:H薄膜掺氮的研究。研究结果表明,掺N能够显著地提高光致发光强度。这对提高以a-C:H薄膜为有源层的光电器件质量,改进发光性能是有益的。另一方面,掺氮将引起a-C:H薄膜微结构的改变。本文研究的目的在于探讨薄膜微观结构、发光中心和N原子作用三者之间的关系。因此,本文对掺N与未掺N的a-C:H样品进行了对比研究。通过红外、扫描差热和透射-反射光谱研究了其微观结构的变化。用光致发光光谱研究了氮与发光中心的关系,讨论了氮对a-C:H薄膜微观结构和发光中心的影响。

关 键 词：薄膜 微结构 热稳定性 类金刚石 光学性质 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]