薄膜晶体管研究进展  

Research Progress on Thin Film Transistor

作　　者：许洪华[1] 徐征[2] 黄金昭[2] 袁广才[2] 孙小斌[2] 陈跃宁[1] 

机构地区：[1]辽宁大学物理系,沈阳110036 [2]北京交通大学光电子技术研究所发光与光信息技术教育部重点实验室,北京100044

出　　处：《光子技术》2006年第3期135-139,共5页Photon Technology

摘　　要：薄膜晶体管是液晶显示器的关键器件,对显示器件的工作性能具有十分重要的作用。本文论述了薄膜晶体管的发展历史,描述了薄膜晶体管的工作原理,分析了非晶硅薄膜晶体管、多晶硅薄膜晶体管、有机薄膜晶体管、ZnO活性层薄膜晶体管的性能结构特点与最新进展,并展望了薄膜晶体管的应用。Thin film transistor （TFT） which is of great importance in the properties of display devices is the key device of liquid crystal display. In this paper, the research history and the operating principles of TFT are described, meanwhile, the outstanding properties and recent research progress on thin film transistor such as amorphous silicon TFT, polycrystaUine silicon TFT, organic TFT and ZnO-Based TFT are analyzed. At last, the development trends of thin film transistor are forecasted.

关 键 词：薄膜晶体管 液晶显示 ZNO薄膜 

分 类 号：TN304[电子电信—物理电子学] TQ050[化学工程]