硅微加速度传感器过载能力的研究  

Study of Over-load Protection for Si Accelerometers

作　　者：陈宏[1] 沈绍群[2] 鲍敏杭[2] 

机构地区：[1]复旦大学电子工程系传感器研究室,上海200433 [2]复旦大学电子工程系传感器研究室.,上海200433

出　　处：《传感技术学报》1996年第4期1-5,共5页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国家自然科学基金重点项目(69236021);传感技术国家重点实验室项目

摘　　要：过载能力是加速度传感器的重要参数之一,缺少过载能力是早期硅微机械- 岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因.本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力,并对设计进行了优化.采用这种方法使量程在50gn以下的器件具备了1000gn以上的过载能力,达到了实用的要求.本文还对测量器件过载能力的落锤法所产生冲击加速度的规律和标定方法进行了研究,并建立了测试系统,对器件进行了冲击过载测试.Over-load protection must be considered for practical applications of siliconmicromechanical accelerometers. Based on the satisfaction of the air damping require-ment, the over-load protection structure has been designed and implemented. The drophammer shook system has been set up. Experimental results show that the devices cansurvive acceleration larger than 1000 gn.

关 键 词：硅 加速度传感器 过载能力 测量 加速度计 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]