陈宏

作品数:6被引量:30H指数:4
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供职机构:复旦大学信息科学与工程学院计算机科学系更多>>
发文主题:加速度传感器传感器压力传感器硅微结构更多>>
发文领域:自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊:《仪表技术与传感器》《Journal of Semiconductors》《传感技术学报》《复旦学报(自然科学版)》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
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横向加速度传感器设计及特性研究被引量:4
《Journal of Semiconductors》1997年第7期518-522,共5页朱海军 陈宏 鲍敏杭 
国家自然科学基金;传感技术国家重点实验室资助
一般微机械加工的梁──岛结构加速度传感器,梁的平面都是与器件平面平行的,因此只能测量器件平面法向的加速度分量.我们提出了一种制作梁平面与器件平面相垂直的梁──岛结构的微机械加工方法,并用以设计和制造了一种可测量平行于...
关键词:横向加速度 传感器 岛结构 设计 
硅压阻式加速度传感器的结构研究被引量:6
《复旦学报(自然科学版)》1996年第5期538-544,共7页陈宏 鲍敏杭 胡澄宇 
传感器技术国家重点实验室项目;国家自然科学基金
结合实际器件设计,对三种压阻式加速度传感器结构即双悬臂梁、四梁和双岛-五梁结构进行了详细的力学分析和特性比较,得到了理论计算的灵敏度、固有频率和阻尼等特性,器件的测试结果与理论计算值基本相符,目前三种结构的器件都已实...
关键词:加速度 传感器 压阻式  结构设计 
硅微加速度传感器过载能力的研究被引量:3
《传感技术学报》1996年第4期1-5,共5页陈宏 沈绍群 鲍敏杭 
国家自然科学基金重点项目(69236021);传感技术国家重点实验室项目
过载能力是加速度传感器的重要参数之一,缺少过载能力是早期硅微机械- 岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因.本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力,并对设计进行了优化.采用这种方法使量程在50gn...
关键词: 加速度传感器 过载能力 测量 加速度计 
硅微结构加速度传感器空气阻尼的研究被引量:13
《Journal of Semiconductors》1995年第12期921-927,共7页陈宏 鲍敏杭 
国家自然科学基金;传感技术国家重点实验室项目
本文从理论上和实验上对硅压阻式加速度传感器的三种结构:悬臂梁、四梁和双岛-五梁的空气阻尼问题进行了研究.在这三种结沟中,四梁结构的质量块具有平行的运动方式,但是悬臂梁和双岛-五梁结构中的质量块既有平动又有转动,对这种...
关键词:加速度传感器 空气阻尼 硅微结构 
微压压力传感器的结构改进被引量:5
《航空计测技术》1995年第5期6-8,32,共4页鲍敏杭 沈绍群 陈宏 马青华 
硅压力传感器具有小型和高灵敏度的优点。近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到1kPa。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用。本文介绍了作者首先提出的适用于微压压力传感器的梁膜(岛)结构以及以后几年来出现的...
关键词:微压 压力传感器 结构 传感器 
对称岛膜结构线性硅电容压力传感器设计
《仪表技术与传感器》1993年第4期1-3,共3页李昕欣 陈宏 鲍敏杭 
本文介绍了一种新型的方岛膜压力敏感电容结构,结合适当的接口技术可实现良好的线性化输出。
关键词:电容 压力传感器 岛膜结构  
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