对称岛膜结构线性硅电容压力传感器设计  

作　　者：李昕欣[1] 陈宏[2] 鲍敏杭[2] 

机构地区：[1]沈阳仪器仪表工艺研究所 [2]复旦大学电子工程系

出　　处：《仪表技术与传感器》1993年第4期1-3,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：本文介绍了一种新型的方岛膜压力敏感电容结构,结合适当的接口技术可实现良好的线性化输出。

关 键 词：电容 压力传感器 岛膜结构 硅 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]