微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究  

Research on Cold Characteristics of Bulk Micromachined Folded Waveguide Slow-Wave Structure

作　　者：朱正鹏[1] 缪旻[2] 瞿波[3] 金玉丰[2] 冯进军[3] 

机构地区：[1]北京大学深圳研究生院,广东深圳518055 [2]北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室 [3]北京真空电子研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,北京100016

出　　处：《传感技术学报》2006年第05A期1757-1760,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：2006年北京大学基金项目资助;国家自然科学基金资助(60501007;60571016);北京市教委科技发展计划项目资助(KM200610772003)

摘　　要：在太赫兹频段,折叠波导行波管因其重要的应用价值已成为一个研究热点.介绍了折叠波导结构和折叠波导行波管,优化设计了一种560GHz行波管器件的结构尺寸,并分别用理论解析方法和软件模拟工具研究了折叠波导慢波结构的冷测特性.文章还对该类折叠波导慢波结构的微加工技术进行了初步的探讨,提出了基于ICP体硅深刻蚀、无电镀铜等组合工艺方案.Folded waveguide traveling-wave-tubes （FWTWTs） have been widely studied worldwide because of their importance in terahertz applications. The parameters of FWTWT are optimized. A theoretic analysis is developed, and cold characteristics are simulated with MAFIA. The fabrication technology is discussed and combined technologies based on ICP and electroless plating are presented.

关 键 词：太赫兹 真空电子技术 有限积分方法 微机电系统 

分 类 号：TN015[电子电信—物理电子学]