三轴加速度传感器尺寸屡创新低  

出　　处：《传感器世界》2006年第9期42-43,共2页Sensor World

摘　　要：最近，日本日立金属推出了一款最新型MEMS三轴加速度传感器H30CD，其尺寸为2．9mm×2．9mm×0．92mm，打破了北陆电气工业“HAAM-325B”去年创下的9mm^3的全球最小记录。

关 键 词：三轴加速度传感器 尺寸 MEMS 电气工业 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]