阳极真空弧及其特性研究  

作　　者：王瑞光[1] 宋世战[2] 

机构地区：[1]烟台大学物理系,烟台264005 [2]兰州大学现代物理系,兰州730000

出　　处：《真空科学与技术》1996年第4期296-298,共3页Vacuum Science and Technology

摘　　要：介绍阳极真空弧设备和现象。对弧等离子体特性、阳极的蒸发和起弧方式进行了实验研究。在25A弧电流下，电子温度0．4～0．7eV，电子浓度1015～1017m-3，离子通量1018～1020m－2s-1。

关 键 词：阳极斑 等离子体沉积 背散射 

分 类 号：TN103[电子电信—物理电子学]