离子束增强沉积技术制备MoS_2固体润滑膜  

Ion beam Enhenced Deposition Technique In Preparing MoS_2 Film

作　　者：朱晓东[1] 傅永庆[1] 何家文[1] 

机构地区：[1]西安交通大学,西安710049

出　　处：《材料科学与工程》1996年第1期13-16,共4页Materials Science and Engineering

基　　金：国家自然科学基金;中关村联合分析测试基金资助

摘　　要：本文综述了离子束增强沉积技术的主要特点及其在制备固体润滑膜(MoS_2)方面的最新研究结果。与传统溅射沉积技术比较,其优势在于:易于获得沿 basal 面的择优取向分布,膜层结构致密,膜基结合强度高,膜层耐磨损寿命大幅度提高。In this paper the advantages and recent research results of IBED technique in preparing MoS_2 Solid Lubricant film are introduced.Compared with traditional sputtering method,its advantages are as follows:the easy obtainment of basal orientation,the dense structurs of film,high bonding strength and the long wear-life.

关 键 词：离子束增强沉积 润滑膜 二氧化钼 

分 类 号：TH117.22[机械工程—机械设计及理论]