离子束增强沉积

作品数：103被引量：247H指数：8
导出分析报告
相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>
相关作者：袁宁一柳襄怀李金华刘道新唐宾更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院上海冶金研究所西北工业大学江苏工业学院更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金中国航空科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
表面复合强化处理后Ti17钛合金的显微组织和耐磨性能
《机械工程材料》2015年第12期17-21,共5页王少鹏 乔生儒 张程煜 
国家重点基础研究发展计划项目(2012CB625100)
分别以硅青铜和YG-8合金为电极进行瞬态电能表面强化结合离子束增强沉积硅青铜对Ti17钛合金进行表面复合强化,研究了电极材料对其组织和耐磨性能的影响。结果表明:Ti17钛合金表面复合强化层由瞬态电能强化层和铜沉积层组成,铜沉积层组...
关键词：复合强化层 耐磨性 瞬态电能 离子束增强沉积 
离子束增强沉积制备钽酸锂薄膜电性能分析
《材料科学与工程学报》2014年第4期489-492,521,共5页包勇 张德银 
国家自然科学基金面上资助项目(60979004)
为提升钽酸锂薄膜的性能,提出一种离子束增强沉积法制备钽酸锂薄膜的新工艺。分别采用这种新工艺和溶胶-凝胶法制备了钽酸锂薄膜,并利用阻抗分析仪和铁电材料分析仪对制备样品进行了介电性能、铁电特性、漏电电流和热释电特性分析。实...
关键词：离子束增强沉积 钽酸锂 溶胶-凝胶 介电常数 铁电特性 热释电系数 
钛合金表面离子束增强沉积NiCr膜的耐腐蚀磨损性能被引量：3
《材料保护》2014年第4期24-27,6,共4页唐长斌 刘道新 朱晓东 田林海 
国家自然科学基金(51171154);国家863计划(2007AA03Z521)资助
钛合金是难镀材料,采用离子束增强沉积法(IBED),在Ti6Al4V钛合金表面制备NiCr膜,以期改善其耐腐蚀磨损性能。利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、辉光放电光谱仪、显微硬度计、划痕仪、静态压入和动态循环压法表征其形态、结构、成分分...
关键词：离子束增强沉积 NiCr合金膜 钛合金 腐蚀磨损 
离子束增强沉积制备Li掺杂ZnO薄膜被引量：3
《常州大学学报（自然科学版）》2014年第1期6-9,共4页陈强 张春渤 谢建生 
利用离子束增强沉积(IBED)法制备了Li掺杂ZnO薄膜(LZO),溅射靶为Li/Zn原子比为5%ZnO的陶瓷靶,实验结果显示:IBED法制备的(LZO)薄膜具有ZnO纤锌矿结构,在500℃高纯氩气下退火35min,薄膜表现为p型导电,薄膜的最低电阻率为35.03Ω·cm,制...
关键词：Li掺杂 离子束增强沉积 退火 
离子束增强沉积TiN薄膜的耐蚀性
《大连交通大学学报》2013年第6期79-82,共4页朱雪梅 马永乐 张琳 
采用不同离子束入射方向的离子束增强沉积技术(IBED)在W18Cr4V高速钢表面沉积TiN薄膜.利用阳极极化曲线测试技术研究TiN薄膜在0.5 mol/L H2SO4和3%NaCl溶液中的耐蚀性.结果表明:在0.5 mol/L H2SO4溶液中,离子束入射角度为45°时的TiN薄...
关键词：离子束增强沉积 TIN薄膜 W18CR4V高速钢 阳极极化 
室温非晶硅薄膜热电阻温度系数研究
《常州大学学报（自然科学版）》2012年第3期9-13,共5页伞振雷 谢建生 李金华 
用离子束增强沉积(IBED)方法,在SiO2/Si衬底上沉积了非晶硅薄膜和注氢的非晶硅薄膜。研究薄膜的电阻温度系数(TCR)随制备工艺的变化,分析非晶硅薄膜电阻的稳定性对电阻温度系数的影响。本征非晶硅电阻太大,虽然经过适当地退火后,TCR能...
关键词：非晶硅薄膜 离子束增强沉积 热电阻温度系数 红外探测仪 
合金钢表面离散复合强化层设计
《热加工工艺》2012年第2期176-177,191,共3页葛志宏 邓静 
依据离散强化涂层理论,根据实际工况要求,采用瞬态电能强化与离子束增强沉积(IBED)技术制备了离散复合强化涂层,并进行了强化机理分析。理论上制备出的离散复合强化层可提高钢表面的耐磨减摩性能。
关键词：离散复合强化层 瞬态电能强化 离子束增强沉积 
用离子束增强沉积法制备In-N共掺杂ZnO薄膜
《廊坊师范学院学报（自然科学版）》2010年第4期50-52,共3页金铱 谢建生 李金华 袁宁一 
用In2O3粉体与ZnO粉体均匀混合,压制成溅射靶。在Si和Si O2/Si衬底上,用离子束增强沉积(IBED)方法对沉积膜作Ar+/N+注入,制备In-N共掺杂氧化锌薄膜。在氮气氛中作适当的退火,可以方便地获得取向单一、结构致密、性能良好的共掺杂ZnO薄...
关键词：氧化锌薄膜 退火 离子束增强沉积 
离子束增强沉积Ti-Mo多层膜和TiMo合金膜及其性能被引量：1
《中国表面工程》2010年第4期15-21,共7页唐长斌 刘道新 李凡巧 张卿 张晓化 
国家自然科学基金(50671085;50771070);国家863高技术研究发展计划(2007AA03Z521)
采用离子束增强磁控溅射沉积技术制备了Ti–Mo金属多层膜和TiMo合金膜,评价了膜层的结合强度、韧性、硬度等力学性能和摩擦学性能。结果表明:不同调制周期及不同调制比的Ti–Mo多层膜的硬度均比Ti、Mo金属单层膜的硬度高,调制周期小于20...
关键词：Ti-Mo多层膜 TiMo合金膜 硬度 磨损 腐蚀磨损 
钽掺杂对二氧化钒多晶薄膜相变特性的影响被引量：5
《红外技术》2010年第3期173-176,共4页付学成 李金华 谢建生 袁宁一 
国家自然科学基金资助项目(编号:60277019)
将Ta2O5与V2O5均匀混合,压制成溅射靶,用离子束增强沉积方法在二氧化硅衬底上沉积掺Ta氧化钒薄膜。在氮气中适当退火,形成掺杂二氧化钒多晶薄膜。X射线衍射结果显示,薄膜具有单一的(002)取向。XPS测试表明,膜中V为+4价,Ta以替位方式存...
关键词：二氧化钒薄膜 Ta掺杂 离子束增强沉积 
全选清除导出
共11页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部