付学成

作品数：3被引量：6H指数：1
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供职机构：江苏工业学院更多>>
发文主题：二氧化钒薄膜离子束增强沉积相变特性掺杂钽更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《半导体技术》《红外技术》更多>>
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钽掺杂对二氧化钒多晶薄膜相变特性的影响被引量：5
《红外技术》2010年第3期173-176,共4页付学成 李金华 谢建生 袁宁一 
国家自然科学基金资助项目(编号:60277019)
将Ta2O5与V2O5均匀混合,压制成溅射靶,用离子束增强沉积方法在二氧化硅衬底上沉积掺Ta氧化钒薄膜。在氮气中适当退火,形成掺杂二氧化钒多晶薄膜。X射线衍射结果显示,薄膜具有单一的(002)取向。XPS测试表明,膜中V为+4价,Ta以替位方式存...
关键词：二氧化钒薄膜 Ta掺杂 离子束增强沉积 
Ta掺杂VO_2多晶薄膜的相变特性
《江苏工业学院学报》2009年第4期24-28,共5页赵蒙 李金华 郑巍峰 付学成 
国家自然科学基金资助(10675055);常州市科技计划资金资助(CE2005027)
以氧化二乙酰丙酮合钒(C10H14O5V)为前驱体,乙醇钽[Ta(OC2H5)5]为掺杂剂,用溶胶-凝胶方法在Si(100)和SiO2/Si衬底上制备了V1-xTaxO2(x=0-0.1)多晶薄膜。XRD谱图显示薄膜呈(011)面取向生长。随着Ta掺杂量的增大,d(011)基本呈线性增大表...
关键词：二氧化钒薄膜 掺杂 相变 电阻温度系数 溶胶-凝胶法 
溶胶凝胶法制备多孔SiO_2薄膜的新方法被引量：1
《半导体技术》2009年第3期225-227,共3页郑巍峰 李金华 赵蒙 付学成 
国家自然科学基金(10675055);常州市科技计划资金资助项目(CE:2005027)
以氨水、醋酸为催化剂,用正硅酸已酯(TEOS)为Si源,甘油作为防裂剂,聚乙烯醇(PVA1750)作为致缓剂和发泡剂,制作多孔SiO2薄膜。碱催化使得硅-羟基化合物的溶解度增大,并抑制了SiO2的聚合,弱酸的二步催化使硅-羟基化合物聚合成10～100nm的...
关键词：多孔SiO2薄膜 溶胶凝胶法 正硅酸乙酯 快速退火 热处理 
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