TIN薄膜

作品数：276被引量：867H指数：14
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真空热处理对不锈钢表面TiN薄膜结构及性能的影响被引量：1
《西安工程大学学报》2024年第3期32-38,共7页卢琳琳 刘晨曦 曹航玮 徐洁 刘禹松 范重庆 
陕西省自然科学基础研究计划项目(2023-JC-YB-471,2023-JC-YB-476)。
为提高不锈钢材料在海洋环境中的耐腐蚀能力,采用磁控溅射技术在304不锈钢表面沉积TiN薄膜,并在不同温度下对其进行真空热处理,研究热处理温度对TiN薄膜结构及性能的影响。结果表明:适当的真空热处理可提高304不锈钢表面TiN薄膜的结晶...
关键词：真空热处理 TIN薄膜 不锈钢 残余应力 结合强度 耐腐蚀性 
光栅阀角度对电弧离子镀TiN薄膜结构及性能的影响被引量：1
《沈阳大学学报（自然科学版）》2023年第6期459-463,470,共6页赵彦辉 杨文进 
通过调整光栅阀角度开展对电弧离子镀TiN薄膜结构及力学性能的研究。实验结果表明:光栅阀角度对TiN薄膜的择优取向无明显影响,薄膜均以TiN(200)面择优取向为主;随着光栅阀角度的增加,TiN薄膜中N与Ti原子比均呈欠化学计量比,且先增加而...
关键词：电弧离子镀 光栅阀角度 TIN薄膜 硬度 耐磨性能 
不同工艺参数对TiN薄膜形貌和力学性能的影响被引量：2
《新技术新工艺》2023年第10期59-65,共7页于朋 何箐 袁涛 王世兴 董金全 
随着硬质薄膜的快速发展,TiN薄膜已经在诸多领域成功应用。通过采用PVD多功能离子镀膜机在不同工艺参数条件下制备了TiN薄膜,研究不同工艺参数对TiN薄膜表面大颗粒形貌和力学性能的影响。利用扫描电子显微镜对TiN薄膜的表面形貌进行研究...
关键词：多弧离子镀 TIN薄膜 表面形貌 弧电流 沉积温度 力学性能 负偏压 
化学气相沉积氮化钛薄膜的研究被引量：1
《山东化工》2023年第20期11-13,18,共4页王俊宝 肖维维 梁兰菊 高炬 
国家自然科学基金(NSFC)(11747027,11974304,61701434);山东省青创团队科技计划团队(2019KJN001);枣庄学院博士启动项目(1020718);横向课题(63501210615);教育部产学合作协同育人项目(22107150115243)。
氮化钛薄膜材料具有优良的性能,应用广阔,总结了化学气相沉积制备氮化钛薄膜的方法和原理,介绍了化学气相沉积在制备氮化钛方面的应用现状和研究成果,分析了各种化学气相沉积方法的优势。
关键词：TIN薄膜 化学气相沉积 制备 
光电性能可调的TiN薄膜及在TOPCon太阳电池的应用被引量：4
《太阳能学报》2023年第9期72-77,共6页白宇 何佳龙 李君君 苏荣 陈涛 俞健 
国家自然科学基金(61904154);四川省重点研发计划(2022YFG0229);成都市技术创新研发项目(2022-YF05-00384-SN)。
采用直流磁控溅射制备了光电性能可调的氮化钛(TiN)薄膜,TiN薄膜的透过率随沉积压强和氮气浓度升高而升高;电导率随溅射功率升高而升高、随沉积压强和氮气浓度升高而降低。TiN的可见光平均透过率为0%~60%,氮气浓度和沉积压强较低时制备...
关键词：太阳电池 磁控溅射 电导率 氮化钛 TOPCon 
TiN硬质陶瓷薄膜研究进展
《山东化工》2023年第18期109-111,共3页杨海 陆昆 
安徽省自然科学重点项目(KJ2020A1004)。
TiN薄膜具有优异的综合性能而受到广泛应用和研究。综述了TiN薄膜的多种制备技术,介绍了制备技术和工艺参数对TiN薄膜结构和性能影响,阐述了TiN薄膜应用领域,最后展望了TiN薄膜未来发展方向。
关键词：TIN薄膜 制备 性能 应用 
Ti6Al4V表面增强CrN和TiN薄膜被引量：3
《表面技术》2023年第7期444-454,共11页司彪 时晓光 孙琳凡 杜峰 张开策 周艳文 
国家自然科学基金(51972155,52271056);辽宁省教育厅项目基金(LJKZ0278,LJKZ0306);海洋工程金属材料装备及应用国家重点实验室项目(HGSKL-UST LN(2020-05))。
目的研究表面增强氮化铬(CrN)和氮化钛(TiN)薄膜与Ti6Al4V(TC4)基体的适应性。方法采用热丝增强等离子体磁控溅射技术,通过改变热丝放电电流,在TC4合金表面制备CrN、TiN薄膜。采用扫描电子显微镜、X–射线衍射仪、纳米压痕仪、洛氏硬度...
关键词：TC4钛合金 等离子体增强磁控溅射 等离子体密度 氮化物薄膜 低载荷摩擦 
低模量Ti6Al4V表面Ti(Al/Pt)N薄膜强化改性
《中国表面工程》2023年第2期79-85,共7页孙琳凡 时晓光 周艳文 杜峰 司彪 郭诚 
国家自然科学基金(51972155,52271056);辽宁省教育厅基金(LJKZ0278,LJKZ0306);海洋工程金属材料装备及应用国家重点实验室(HGSKL-USTLN(2020-05))资助项目。
为解决硬质薄膜因与软基体硬度和模量差较大导致的薄膜失效问题,提高硬质薄膜在Ti6Al4V(TC4)钛合金基体上的适应性,使用掺杂氮化钛(TiN)陶瓷薄膜对低模量Ti6Al4V合金表面强化。采用热丝增强等离子体磁控溅射技术在Ti6Al4V合金表面制备Ti...
关键词：热丝增强等离子体磁控溅射 TIN薄膜 掺杂 结合力 耐磨性 
不同溅射气压下TiN薄膜的制备及其性能被引量：3
《西安工程大学学报》2023年第2期25-31,共7页徐洁 高淼 王继允 张旭东 卢琳琳 
陕西省自然科学基础研究-面上项目(2023-JC-YB-476,2023-JC-YB-471)。
为研究TiN薄膜的性能尤其是红外发射性能,选用Ti靶为溅射靶材,氮气为反应气体,以石英玻璃为基底,在不同溅射气压下(0.1 Pa、0.3 Pa、0.5 Pa、0.7 Pa)采用反应直流磁控溅射技术制备了TiN薄膜,并对其红外发射性能、导电性能、耐腐蚀性能...
关键词：TIN薄膜 磁控溅射 溅射气压 红外发射率 
脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响被引量：2
《中国表面工程》2022年第5期192-199,共8页高海洋 张斌 魏殿忠 但敏 金凡亚 
甘肃省科技支撑(20YF8WA006);中国科学院青年创新促进会(2017489)资助项目
为探究脉冲频率对通过高功率脉冲磁控溅射制备TiN薄膜组织力学性能的影响,选用Ti靶和N2气体,采用反应磁控溅射技术通过改变高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)电源脉冲频率在Si(100)晶片上制备不同种TiN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电...
关键词：高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS) 脉冲频率 TIN薄膜 微观组织 力学性能 
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