溅射气压

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镀钛织物制备及性能研究
《针织工业》2025年第2期33-36,共4页卢琳琳 刘晨曦 曹航玮 徐洁 
陕西省自然科学基础研究计划项目(2023-JC-YB-471,2023-JC-YB-476)。
采用磁控溅射工艺在不同溅射气压下制备镀钛织物,并对其性能进行测试与分析,研究溅射气压对镀钛织物的薄膜相组成及显微形貌、表面润湿性、方块电阻、红外发射率和电磁屏蔽效能的影响规律。结果表明:随着溅射气压的增大,织物表面钛薄膜...
关键词：磁控溅射 镀钛织物 溅射气压 红外发射率 电磁屏蔽 
脉冲电流和溅射气压对轴瓦内表面制备Al-Sn-Cu薄膜的影响
《机械工程师》2024年第12期35-38,共4页唐玉峰 张健 唐智聪 
国家科技型中小企业技术创新基金(2022210101000301)。
通过脉冲直流磁控溅射技术在铜合金轴瓦内表面制备Ni过渡层后制备Al-Sn-Cu薄膜。为了得到更好的薄膜制备工艺,利用SEM扫描电子显微镜和EDS能谱仪对制得的Al-Sn-Cu薄膜表面进行检测分析,探究了溅射气压、脉冲直流电源的电流及Ni过镀层对...
关键词：磁控溅射 溅射气压 脉冲电流 表面形貌 
基于倾斜旋转方法磁控溅射制备TSV阻挡层
《半导体技术》2024年第8期726-731,共6页申菊 卢林红 杜承钢 冉景杨 闵睿 杨发顺 马奎 
贵州省科技计划项目(黔科合支撑[2023]一般283)。
硅通孔(TSV)是实现三维集成的关键技术,在TSV侧壁制备连续和均匀的阻挡层至关重要。提出了一种磁控溅射制备TSV侧壁阻挡层的方法,将溅射基台倾斜一定角度并水平匀速旋转,使溅射离子的掉落方向与TSV侧壁不平行,靶材离子更容易溅射沉积在...
关键词：硅通孔(TSV) 阻挡层 磁控溅射 溅射电流 溅射气压 
溅射气压对铜基复合薄膜结合性能的影响
《辽宁化工》2024年第7期1005-1007,1011,共4页徐全国 张健 宗世强 
国家科技型中小企业技术创新基金项目(项目编号:2022210101000301)。
采用直流磁控溅射的方式,在镀有镍层的铜箔基底上改变设备溅射气压分别沉积铬、钴、钛薄膜,再用水电镀在这3种薄膜表面制备铜膜,对薄膜的表面能和结合力进行研究,用达因法和万能拉力仪进行检测。结果表明:随着溅射气压的增大,铬薄膜的...
关键词：磁控溅射 结合力 表面能 溅射气压 
氩气和氪气磁控溅射对Zr-Co-RE薄膜微观结构和吸氢性能的影响
《真空与低温》2024年第1期83-89,共7页周超 马占吉 何延春 杨拉毛草 王虎 李得天 
甘肃省自然科学基金(23JRRA1355);甘肃省陇原青年创新创业人才项目。
为了获得吸气性能较好的Zr-Co-RE(RE为La和Ce稀土元素)吸气剂薄膜,采用直流磁控溅射方法,分别在氩气和氪气气氛中,通过改变沉积气压研究制备了不同结构的Zr-Co-RE薄膜。运用场发射扫描电镜、X射线衍射仪分析了不同溅射气压下溅射气氛对...
关键词：Zr-Co-RE薄膜 直流磁控溅射 氪气 溅射气压 微观结构 吸氢性能 
不同溅射气压下TiN薄膜的制备及其性能被引量：3
《西安工程大学学报》2023年第2期25-31,共7页徐洁 高淼 王继允 张旭东 卢琳琳 
陕西省自然科学基础研究-面上项目(2023-JC-YB-476,2023-JC-YB-471)。
为研究TiN薄膜的性能尤其是红外发射性能,选用Ti靶为溅射靶材,氮气为反应气体,以石英玻璃为基底,在不同溅射气压下(0.1 Pa、0.3 Pa、0.5 Pa、0.7 Pa)采用反应直流磁控溅射技术制备了TiN薄膜,并对其红外发射性能、导电性能、耐腐蚀性能...
关键词：TIN薄膜 磁控溅射 溅射气压 红外发射率 
磁控溅射法制备ITO膜层及其光电性能研究被引量：6
《真空》2022年第6期45-50,共6页张健 齐振华 李建浩 牛夏斌 徐全国 宗世强 
利用直流磁控溅射法在有机玻璃基底上沉积掺杂氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,在室温条件下,研究了溅射功率、溅射气压、靶基距和氧氩流量比等工艺参数对ITO薄膜光电性能的影响。结果表明,ITO薄膜的透光率随溅射功率和靶基距的增大而减小,...
关键词：ITO薄膜 直流磁控溅射法 溅射功率 溅射气压 光电性能 
探究直流磁控溅射下工艺参数对SiC薄膜性能的影响规律被引量：1
《真空》2022年第4期52-55,共4页张健 李建浩 齐振华 
针对脉冲激光法和升华法制备SiC薄膜时,沉积速率比较低、薄膜厚度不均匀等问题,本文采用真空直流磁控溅射技术,利用一种高含碳量的SiC靶材,在平面玻璃衬底表面沉积SiC薄膜,通过改变直流电源功率、溅射气压,研究了不同参数对薄膜沉积速...
关键词：SiC 直流磁控溅射 直流溅射功率 溅射气压 
溅射气压对氧化镓薄膜光学特性的影响
《半导体光电》2021年第6期875-878,共4页张芮馨 孙辉 程佳 刘子童 陈建金 沈龙海 
辽宁省教育厅自然科学基金项目(LG201910)。
采用射频磁控溅射法在石英衬底上制备了氧化镓(Ga_(2)O_(3))薄膜。利用X射线衍射仪和紫外-可见-红外分光光度计分别对Ga_(2)O_(3)薄膜的晶体结构和光学带隙进行了表征,并在室温下测量了Ga_(2)O_(3)薄膜的光致发光(PL)谱。结果表明:制备...
关键词：Ga_(2)O_(3)薄膜 射频磁控溅射 晶体结构 光学带隙 光致发光 
中频磁控溅射制备氧化钨薄膜及电致变色性能研究被引量：2
《真空》2021年第5期50-56,共7页魏梦瑶 王辉 韩文芳 王红莉 苏一凡 唐春梅 代明江 石倩 
广东特支计划资助(2019BT02C629);广东省自然科学基金团队项目(2016A030312015);广东省科学院科技创新发展专项(2018GDASCX-0402);广州市科技计划项目(202007020008)。
采用中频磁控溅射方法,在氧化铟(ITO)玻璃上采用氧化钨(WO_(3))陶瓷靶沉积薄膜,研究溅射气压对WO_(3)薄膜结构与光学性能的影响规律,并对其电致变色行为进行了探讨。采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了WO_(3)薄膜的成分结...
关键词：WO_(3)薄膜 中频磁控溅射 电致变色 溅射气压 循环寿命 
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