直流磁控溅射法

作品数：26被引量：87H指数：5
导出分析报告
相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：操振华刘汉法张化福郭美霞章壮健更多>>
相关机构：南京大学复旦大学中国科学院山东理工大学更多>>
相关期刊：《金属材料研究》《低温物理学报》《表面技术》《新技术新工艺》更多>>
相关基金：国家自然科学基金山东省自然科学基金天津市科技发展战略研究计划项目国家重点基础研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
磁控溅射法制备ITO膜层及其光电性能研究被引量：6
《真空》2022年第6期45-50,共6页张健 齐振华 李建浩 牛夏斌 徐全国 宗世强 
利用直流磁控溅射法在有机玻璃基底上沉积掺杂氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,在室温条件下,研究了溅射功率、溅射气压、靶基距和氧氩流量比等工艺参数对ITO薄膜光电性能的影响。结果表明,ITO薄膜的透光率随溅射功率和靶基距的增大而减小,...
关键词：ITO薄膜 直流磁控溅射法 溅射功率 溅射气压 光电性能 
直流磁控溅射法在玻璃基片上制备TiN薄膜被引量：2
《中国表面工程》2013年第2期61-65,共5页王有欣 毛明旭 王英才 单玉桥 
采用直流反应磁控溅射法在玻璃片上制备了TiN薄膜,研究不同制备工艺条件与薄膜性能之间的关系。用紫外-可见光分光光度计测试了不同沉积时间和N2流量条件下TiN薄膜透光率;用X射线衍射仪分析了不同N2流量和溅射功率条件下TiN薄膜结构;用...
关键词：TIN薄膜 直流反应磁控溅射 透光率 耐蚀性 
直流磁控溅射法在PET基板上制备AZO薄膜被引量：2
《中国表面工程》2012年第6期53-60,共8页王翠凤 邱锡荣 赵乙璇 欧耿良 
福建省教育厅自然科学基金(JA11306)
室温下用直流磁控溅射法在PET塑料基板上制备氧化锌薄膜及掺铝氧化锌AZO(ZnO:Al)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、四点探针仪、霍尔效应仪及光谱仪等装置,考察了氧分率、溅射功率及铝掺杂量等...
关键词：AZO PET基板 透明导电膜 直流磁控溅射 
直流磁控溅射法在玻璃上沉积金属镍膜的研究被引量：3
《表面技术》2012年第6期65-67,共3页韩丽 
河北省建设厅资助项目(2009-129)
采用直流磁控溅射法,在玻璃基板上制备了用于显示器视窗保护玻璃的半透明镍膜,测定了不同溅射条件下所得镍膜的表面粗糙度、透过率及厚度,讨论了溅射气压、溅射功率、行车速度等对薄膜性能的影响。结果表明,薄膜的表面粗糙度随溅射功率...
关键词：磁控溅射 半透镍膜 液晶显示 真空镀膜 
直流磁控溅射法低温制备GZO:Ti薄膜及其光电性能研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2012年第4期324-327,共4页郭美霞 李洁 
用直流磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备出了钛镓共掺杂氧化锌(GZO:Ti)透明导电薄膜,研究了溅射压强和功率对GZO:Ti薄膜的微观结构和光电性能的影响。研究结果表明,所制备的GZO:Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。溅...
关键词：GZO:Ti薄膜 透明导电薄膜 溅射压强 溅射功率 磁控溅射 
镀Al膜空芯玻璃微球人工介质材料的制备及其介电性能
《兵器材料科学与工程》2011年第2期31-34,共4页刘坤 杨剑 谷宏洁 毛昌辉 
原国防科工委资助项目(JPPT-115-2-893)
采用直流磁控溅射法在空芯玻璃微球表面镀Al膜,将空芯玻璃微球、镀Al膜玻璃微球和高分子粘合剂按一定比例混合制成人工介质材料。用波导法测量人工介质材料的介电常数,并采用有效媒质理论对测试结果进行分析。结果表明,在8~12 GHz频率...
关键词：直流磁控溅射法 空芯玻璃微球 介电常数 介电损耗 
衬底温度对直流磁控溅射法沉积ZnO∶Ti薄膜性能的影响被引量：15
《真空科学与技术学报》2011年第1期95-99,共5页刘汉法 张化福 郭美霞 史晓菲 周爱萍 
山东省自然科学基金资助项目(No.ZR2009GL015)
利用直流磁控溅射工艺,在石英玻璃衬底上沉积出了具有高度C轴择优取向的掺Ti氧化锌(ZnO∶Ti,TZO)透明导电薄膜。研究了衬底温度对TZO薄膜应力、结构和光电性能的影响。结果表明,衬底温度对TZO薄膜的结构、应力和电阻率有重要影响。TZO...
关键词：ZnO∶Ti薄膜 透明导电薄膜 衬底温度 磁控溅射 
直流磁控溅射法在管道内壁镀TiZrV薄膜被引量：7
《强激光与粒子束》2010年第9期2124-2128,共5页张波 王勇 尉伟 范乐 王建平 张玉方 李为民 
国家自然科学基金项目(10675119)
用氩气作为放电气体,采用直流磁控溅射法,成功地在不锈钢管道内壁获得了TiZrV薄膜。分别利用能量弥散X射线谱和X射线光电子能谱测量薄膜的成分组成,应用扫描电子显微镜和X射线衍射仪对薄膜进行了测试,并对TiZrV的二次电子产额进行了测...
关键词：TiZrV薄膜 非蒸散型吸气剂 直流磁控溅射 粒子加速器 
溅射功率对直流磁控溅射法沉积TGZO薄膜性能的影响被引量：3
《人工晶体学报》2010年第4期972-976,共5页史晓菲 郭美霞 刘汉法 王新峰 
山东省自然科学基金(No.ZR2009GL015)
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了高质量的钛镓共掺杂氧化锌(TGZO)透明导电薄膜。研究了溅射功率对TGZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明:溅射功率对TGZO薄膜的结构和电阻率有重要影响。X射线衍射分析表明,...
关键词：TGZO薄膜 透明导电薄膜 溅射功率 磁控溅射 
直流磁控溅射法在Mg-Li合金表面沉积TiN薄膜提高合金抗腐性的研究被引量：3
《牡丹江师范学院学报（自然科学版）》2010年第1期13-16,共4页高福毅 陈玉强 彭鸿雁 薛晓宇 姜宏伟 
TiN薄膜具有良好的抗腐蚀性,采用直流磁控溅射法低温下合成TiN薄膜可以节约能源,简化工艺.采用直流磁控溅射法在Mg-Li合金表面沉积TiN膜,TiN膜厚度约为1.6μm,靶材为纯度99.99%的钛靶.用X射线衍射仪(XRD)来表征薄膜的成分,薄膜的表面形...
关键词：镁锂合金 TIN薄膜 抗腐蚀性 
全选清除导出
共3页<123>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部