史晓菲

作品数：5被引量：20H指数：3
导出分析报告
供职机构：山东理工大学理学院更多>>
发文主题：磁控溅射透明导电薄膜直流磁控溅射法衬底温度ZNO更多>>
发文领域：理学电子电信机械工程化学工程更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》《电子元件与材料》《液晶与显示》《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金：山东省自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-5
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
衬底温度对直流磁控溅射法沉积ZnO∶Ti薄膜性能的影响被引量：15
《真空科学与技术学报》2011年第1期95-99,共5页刘汉法 张化福 郭美霞 史晓菲 周爱萍 
山东省自然科学基金资助项目(No.ZR2009GL015)
利用直流磁控溅射工艺,在石英玻璃衬底上沉积出了具有高度C轴择优取向的掺Ti氧化锌(ZnO∶Ti,TZO)透明导电薄膜。研究了衬底温度对TZO薄膜应力、结构和光电性能的影响。结果表明,衬底温度对TZO薄膜的结构、应力和电阻率有重要影响。TZO...
关键词：ZnO∶Ti薄膜 透明导电薄膜 衬底温度 磁控溅射 
溅射压强对钛镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜性能的影响被引量：3
《液晶与显示》2011年第1期54-58,共5页史晓菲 郭美霞 刘汉法 高金霞 
山东省自然科学基金(No.ZR2009GL015)
利用直流磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备出了透过率高、电阻率较低的钛镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜(TGZO)。研究了溅射压强对TGZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,溅射压强对TGZO薄膜的结构和电阻率有重要影响。X射线衍射(...
关键词：TGZO薄膜 透明导电薄膜 溅射压强 磁控溅射 
低电阻率高透过率TAZO透明导电膜的制备及性能被引量：1
《电子元件与材料》2010年第10期21-24,共4页史晓菲 郭美霞 
山东省自然科学基金资助项目(No.ZR2009GL015)
利用直流磁控溅射工艺,在水冷玻璃衬底上制备了透过率高、电阻率相对较低的钛铝共掺杂ZnO(TAZO)透明导电膜。用XRD和SEM等研究其结构、应力和光电性能与靶基距之间的关系。结果表明:TAZO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优...
关键词：靶基距 TAZO薄膜 透明导电膜 磁控溅射 
溅射功率对直流磁控溅射法沉积TGZO薄膜性能的影响被引量：3
《人工晶体学报》2010年第4期972-976,共5页史晓菲 郭美霞 刘汉法 王新峰 
山东省自然科学基金(No.ZR2009GL015)
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了高质量的钛镓共掺杂氧化锌(TGZO)透明导电薄膜。研究了溅射功率对TGZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明:溅射功率对TGZO薄膜的结构和电阻率有重要影响。X射线衍射分析表明,...
关键词：TGZO薄膜 透明导电薄膜 溅射功率 磁控溅射 
尼科耳棱镜中非常光折射率的讨论
《山东理工大学学报（自然科学版）》2005年第2期54-56,共3页郭美霞 史晓菲 
给出了晶体中任一方向非常光(简称e)光折射率公式,计算了尼科耳棱镜中e光的折射率,指出这一折射率并非e光的主折射率.
关键词：尼科耳棱镜 光折射率 中非 主折射率 非常光 E光 晶体 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部