张化福

作品数：58被引量：195H指数：8
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发文主题：透明导电薄膜磁控溅射ZNOZR溅射功率更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《电子元件与材料》《光子学报》《物理学报》《人工晶体学报》更多>>
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Zn_(0.9)Mg_(0.1)O∶Ti透明导电薄膜的制备及研究
《真空科学与技术学报》2012年第11期961-963,共3页孙艳 王晓晨 周爱萍 刘汉法 张化福 
山东理工大学科技博士启动项目
采用磁控溅射法在不同的溅射压强下制备了ZnMgO∶Ti透明导电薄膜。着重研究了溅射压强对ZnMgO∶Ti薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响。结果表明:当溅射功率为80W时,电阻率随着溅射压强的增加先减小后增加,在12 Pa时达到最小值1.9×1...
关键词：透明导电薄膜 磁控溅射 溅射压强 透光率 
衬底偏压对ZnO:Zr薄膜结构及光电性能的影响
《山东理工大学学报（自然科学版）》2012年第5期1-3,25,共4页张化福 
山东省自然科学基金资助项目(ZR2009GQ011)
以Zn:Zr(Zr片贴在金属Zn靶上面)为溅射靶材,利用直流反应磁控溅射法在Ar/O2混合气氛中制备Zr掺杂ZnO(ZnO:Zr)薄膜.在制备ZnO:Zr薄膜时,衬底偏压在0～60V之间变化.研究结果表明,衬底偏压对薄膜的结构、光学及电学性能有很大影响.当衬底...
关键词：反应磁控溅射 衬底偏压 ZnO:Zr 薄膜 
柔性PET衬底上低温制备TZO透明导电薄膜被引量：3
《真空科学与技术学报》2012年第9期784-788,共5页刘汉法 张化福 袁长坤 
山东省自然科学基金资助项目(No.ZR2009GL015)
利用直流磁控溅射法,在室温水冷柔性PET衬底上成功制备出了掺钛氧化锌透明导电薄膜(TZO)。通过X射线衍射和扫描电镜等表征方法对薄膜结构和特性进行测试分析,研究了靶与衬底之间的距离(靶基距)对TZO薄膜表面形貌、结构、力学、电学和光...
关键词：柔性TZO薄膜 透明导电薄膜 应力 靶基距 
NZO透明导电薄膜的制备及其性能研究
《光电子．激光》2012年第8期1525-1528,共4页周爱萍 刘汉法 高金霞 张化福 
山东省自然科学基金(ZR2009GQ011)资助项目
室温下,采用直流磁控溅射法,在玻璃衬底上制备出Nb掺杂ZnO(NZO,ZnO:Nb)透明导电薄膜。研究了靶与衬底之间的距离对NZO薄膜结构、形貌、光学及电学性能的影响。实验结果表明,不同靶基距下制备的NZO薄膜均为c轴择优取向生长,(002)衍射峰...
关键词：ZnO:Nb(NZO)薄膜 靶基距 透明导电薄膜 磁控溅射 
透明导电薄膜ZnO:Zr的反应磁控溅射法制备及表征被引量：2
《光电子．激光》2012年第7期1333-1337,共5页张化福 牛瑞华 
山东省自然科学基金(ZR2009GQ011)资助项目
以Zn金属靶和Zr金属片组成的Zn:Zr为靶材,利用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备ZnO:Zr透明导电薄膜。研究了靶与衬底之间的距离对所制备薄膜结构和性能的影响。实验制备的ZnO:Zr薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有与衬底方向垂直...
关键词：ZnO:Zr 直流反应磁控溅射 透明导电薄膜 靶与衬底之间的距离 
ZnAl_2O_4:Mn纳米晶的红-绿发光被引量：2
《材料科学与工程学报》2012年第3期432-435,共4页周爱萍 张化福 臧永丽 
山东省自然科学基金资助项目(ZR2009GQ011)
利用溶胶-凝胶法制备了掺杂1.5%锰离子的ZnAl2O4晶体,通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)以及荧光光谱仪对样品的结构和光致发光(PL)性能进行测试分析。结果表明,随着烧结温度的升高,晶体的X射线衍射峰逐渐增强,晶体结构得以改善。当...
关键词：溶胶-凝胶法 ZnAl2O4:Mn晶体 光致发光 
直流反应磁控溅射法制备ZnO:Zr透明导电薄膜(英文)
《人工晶体学报》2012年第4期977-981,共5页张化福 类成新 刘汉法 袁长坤 
Project supported by the Natural Science Foundation of Shandong Province(ZR2009GQ011)
以Zn∶Zr为靶材,利用直流反应磁控溅射法制备了ZnO∶Zr透明导电薄薄膜。研究了沉积压强对ZnO∶Zr薄膜形貌、结构、光学及电学性能的影响。实验结果表明所制备的ZnO∶Zr为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。沉...
关键词：直流反应磁控溅射 ZnO∶Zr薄膜 透明导电薄膜 沉积压强 
溅射压强对柔性PET衬底ZnO薄膜性能的影响被引量：7
《光电子．激光》2012年第4期730-734,共5页刘汉法 类成新 张化福 
山东省自然科学基金(ZR2009GL015)资助项目
利用直流磁控溅射法,在室温水冷柔性PET衬底上成功制备出了掺钛氧化锌(ZnO:Ti,TZO)透明导电薄膜。通过X射线衍射(XRD)研究了薄膜的结构,用扫描电镜(SEM)研究了薄膜的表面形貌,用四探针和紫外-可见分光光度计等仪器对薄膜的特性进行测试...
关键词：TZO薄膜 透明导电薄膜 应力 溅射压强 
透明导电薄膜ZnO∶Mn的低温制备及性能研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2011年第6期657-660,共4页张化福 杨书刚 王永在 郭红 刘汉法 
山东省自然科学基金资助项目(ZR2009GQ011)
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锰氧化锌(ZnO∶Mn)透明导电薄膜。实验制备的ZnO∶Mn为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。实验结果表明,靶与衬底之间的距离对ZnO...
关键词：ZnO∶Mn 透明导电薄膜 靶与衬底之间的距离 应力 
薄膜厚度对ZnO:Ti透明导电薄膜光电性能的影响被引量：2
《太阳能学报》2011年第5期680-683,共4页刘汉法 张化福 袁玉珍 袁长坤 类成新 
山东省自然科学基金(ZR2009GL015)
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出可见光透过率高、电阻率低的掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜。SEM和XRD研究结果表明,ZnO∶Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。讨论了薄膜厚度对掺钛氧化锌透明导电...
关键词：ZnO:Ti薄膜 透明导电薄膜 磁控溅射 光电性能 
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