反应磁控溅射

作品数：336被引量：940H指数：12
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TC-SAW SiO_(2)温补层性能研究
《压电与声光》2025年第1期88-91,共4页贺贞 李燕 田本朗 马晋毅 肖强 梁柳洪 
为制备高性能的TC-SAW SiO_(2)温补层,分别采用电子束蒸发镀膜和反应磁控溅射制备SiO_(2)薄膜,研究两种制备工艺对SiO_(2)薄膜致密性、表面粗糙度及弹性模量的影响。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X线衍射仪对SiO_(2)薄膜的形貌和...
关键词：TC-SAW SiO_(2)温补层 反应磁控溅射 
极紫外多层膜氮化物和氧化物保护层的工艺研究
《强激光与粒子束》2025年第2期37-45,共9页王佳兴 韩伟明 张晗 匡尚奇 
国家自然基金委区域联合基金重点项目(U22A2070)。
极紫外(EUV)反射镜在高能、高功率极紫外光辐照的过程中,其表面易形成碳沉积和氧化,从而影响其反射率,进而缩短其使用寿命。针对这一问题,分别实验研究了在极紫外多层膜表面镀制氮化物和氧化物保护层的制备工艺,并进行了表征。在制备过...
关键词：极紫外多层膜 反应磁控溅射 表面保护层 氮化物/氧化物薄膜 
Ti掺杂非晶碳复合光热转换薄膜的制备及性能研究
《真空与低温》2024年第6期629-633,共5页令晓明 陈欣仪 王伟奇 王曼 
甘肃省自然科学基金(22JR5RA332)。
光热转换薄膜是太阳能光热利用的核心部件,直接影响光热转换效率。采用反应磁控溅射技术,使用Ti靶和石墨靶制备了Ti/a-C:H/Ti(H)/a-C:H/Ti(L)/a-C:H复合光热转换薄膜,研究讨论了薄膜的形貌特征和结构组成,并对其光吸收特性进行了分析。...
关键词：光热转换薄膜 反应磁控溅射 非晶碳薄膜 光学性能 
氧化钒薄膜沉积设备及其电阻均匀性调试方法
《设备管理与维修》2024年第11期103-105,共3页李兆营 黄添萍 
介绍一种氧化钒薄膜沉积设备以及电阻均匀性的调试方法。采用反应磁控溅射法在涨有氮化硅薄膜的硅衬底上制备了氧化钒薄膜,采用四探针电阻测试仪测试氧化钒薄膜的方块电阻。结果表明,通过改变氧气在衬底表面的分布,可以实现对氧化钒表...
关键词：电阻均匀性 氧化钒薄膜 反应磁控溅射 
氮含量对Ti-B-C-N薄膜微观结构和性能的影响
《机械工程材料》2024年第5期62-66,共5页陈向阳 张瑾 马胜利 胡海霞 
安徽省高校自然科学基金资助项目(KJ2019A0127);国家自然科学基金资助项目(81501598)。
采用反应磁控溅射法在高速钢基体上制备氮原子分数分别为10.8%,15.6%,28.1%,36.4%的Ti-B-C-N薄膜,研究了氮含量对薄膜微观结构、硬度和摩擦磨损性能的影响。结果表明:Ti-B-C-N薄膜均由α-Fe和Ti(C,N)纳米晶组成,具有Ti(C,N)纳米晶镶嵌...
关键词：反应磁控溅射 Ti-B-C-N薄膜 纳米复合结构 硬度 摩擦磨损性能 
GREGOR望远系统高透射深截止多腔负滤光片研制
《中国激光》2023年第13期36-43,共8页常艳贺 付秀华 张功 张静 李春 Shigeng Song 
高等学校学科创新引智计划(111计划D21009)。
为满足GREGOR望远系统末端的测试需求,实现对某些荧光光谱干扰信号的有效过滤和屏蔽,在可见光范围内设计并制备了一种高透射深截止多腔负滤光片。采用变迹函数不同级次的高阶迭代算法,通过设计厚度调制层来有效抑制通带波纹;在B270基底...
关键词：薄膜 多腔负滤光片 反应磁控溅射 Nb_(2)O_(5) SiO_(2) 
氮氩体积流量比对AlN薄膜生长取向、晶体质量及沉积速率的影响及机理分析被引量：1
《微纳电子技术》2023年第1期154-158,共5页王强文 郭育华 
合肥市自然科学基金资助项目(2021042)。
采用反应磁控溅射法,在溅射气压、溅射功率和衬底温度恒定的条件下,通过调控氮氩体积流量比,在单晶Si衬底上制备AlN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和场发射扫描电子显微镜(FESEM)研究氮氩体积流量比对AlN薄膜的生长取...
关键词：ALN薄膜 反应磁控溅射 氮氩体积流量比 结晶取向 沉积速率 
反应磁控溅射制备CrN涂层的热稳定性被引量：2
《表面技术》2022年第12期82-90,108,共10页金玉花 程融 柴利强 张学希 王鹏 
国家自然科学基金(51865028);国家自然科学基金青年项目(52005483)。
目的研究了真空、大气2种环境下CrN涂层的热稳定性与氧化行为。方法采用反应磁控溅射技术在(100)取向的P型单晶硅基底上制备了CrN涂层。利用真空热脱附谱(TDS)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、拉曼光谱(Raman)、X射线衍射(XRD)和扫描电...
关键词：CRN涂层 反应磁控溅射 热稳定性 氧化行为 释放 扩散阻挡 
W-W_(x)N基光热转换薄膜中WO_(x)减反射层的制备及性能研究被引量：1
《真空与低温》2022年第5期537-541,共5页令晓明 王瑞 王伟奇 聂文豪 
兰州交通大学青年基金(2020008)。
光热转换薄膜在航空、航天和太阳能可再生能源应用等领域具有广阔的应用前景。为了获得具有高效吸热以及低发射率特点的新型光热薄膜材料,利用中频反应磁控溅射方法,在制备W/W-W_(x)N(H)/W-W_(x)N(L)/W_(x)N光热转换薄膜的基础上,引入WO...
关键词：光热薄膜 反应磁控溅射 减反射层 光学性能 
高功率脉冲反应磁控溅射CrN_(x)涂层的放电特性与组分结构被引量：1
《中国表面工程》2022年第5期184-191,共8页祁宇星 周广学 左潇 都宏 陈仁德 汪爱英 
国家自然科学基金(52025014);宁波市自然科学基金(202003N4025,2021J217)资助项目
高功率脉冲反应磁控溅射技术具有放电等离子密度高、溅射材料离化率高和绕镀性好的特点,已被广泛用于金属氮化物强化涂层的设计制备,但受沉积过程实时在线诊断困难,决定涂层结构性能的关键等离子体特性尚不清晰。基于自主研制的高功率...
关键词：高功率脉冲反应磁控溅射 CrN_(x)涂层 放电特征 LANGMUIR探针 微结构 
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