郭育华

作品数：8被引量：18H指数：3
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供职机构：中国电子科技集团公司第三十八研究所更多>>
发文主题：腔体通孔金属芯片微波更多>>
发文领域：电子电信水利工程自动化与计算机技术化学工程更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《电子器件》《半导体技术》《电子工艺技术》更多>>
所获基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
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氮氩体积流量比对AlN薄膜生长取向、晶体质量及沉积速率的影响及机理分析被引量：1
《微纳电子技术》2023年第1期154-158,共5页王强文 郭育华 
合肥市自然科学基金资助项目(2021042)。
采用反应磁控溅射法,在溅射气压、溅射功率和衬底温度恒定的条件下,通过调控氮氩体积流量比,在单晶Si衬底上制备AlN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和场发射扫描电子显微镜(FESEM)研究氮氩体积流量比对AlN薄膜的生长取...
关键词：ALN薄膜 反应磁控溅射 氮氩体积流量比 结晶取向 沉积速率 
AlN陶瓷腔体的激光加工和芯片埋置工艺被引量：6
《电子工艺技术》2022年第1期14-17,45,共5页王运龙 郭育华 魏晓旻 
装备预先研究(共用技术)项目。
AlN作为陶瓷封装材料具有优异的电性能和热性能。针对高功率、高频多芯片组件高密度组装的需要,采用激光加工技术在AlN陶瓷基片上直接加工腔体结构成型。通过构建激光加工腔体的理论模型,对比试验结果,分析激光功率、频率、扫描速率及...
关键词：ALN陶瓷 腔体 激光加工 芯片埋置 
高散热性能TGV转接板被引量：4
《微纳电子技术》2021年第2期177-183,共7页王强文 郭育华 刘建军 王运龙 
随着玻璃通孔(TGV)转接板在微波系统集成中的应用越来越广泛,其微波大功率应用情况下的散热性能成为研究重点。针对TGV转接板高效散热性能的要求,进行TGV散热结构的设计和性能分析。建立TGV转接板封装集成结构的有限元模型,设计TGV转接...
关键词：微波系统集成 玻璃转接板 玻璃通孔(TGV) 散热 热导率 
玻璃通孔的高频传输性能被引量：5
《微纳电子技术》2021年第1期87-92,共6页郭育华 王强文 刘建军 王运龙 
随着玻璃通孔(TGV)制作工艺的成熟,微波毫米波系统采用玻璃基板进行集成,其高频传输特性成为研究的重点。对玻璃通孔的互连设计、制作和传输性能进行研究。在玻璃基板上分别设计直通传输线和带两个TGV、等长传输线的TGV传输结构;通过激...
关键词：玻璃通孔(TGV) 玻璃基板 高频传输 毫米波系统 插入损耗 
空心硅通孔的设计及其传输性能
《微纳电子技术》2019年第12期999-1004,1009,共7页郭育华 王强文 甘雨辰 刘建军 
装备预先研究项目(41423070115)
硅通孔(TSV)能够实现信号的垂直传输,是微系统三维集成中的关键技术,在微波毫米波领域,硅通孔的高频传输特性成为研究的重点。针对微系统三维集成中,无源集成的硅基转接板的空心TSV垂直传输结构低损耗的传输要求,进行硅通孔的互连设计...
关键词：微系统 三维集成 硅通孔(TSV) 射频(RF)传输 低插入损耗 
硅基高精度镍铬薄膜电阻的制备和性能表征被引量：3
《电子器件》2018年第6期1372-1375,共4页王强文 郭育华 刘建军 王运龙 宋夏 
装备预先研究项目(41423070115)
集成无源元件(IPD)技术可以将分立的无源元件集成在衬底内部,提高系统的集成度。为了获得高精度的薄膜电阻,采用多层薄膜电路工艺在硅晶圆上制备了不同线宽的镍铬薄膜电阻,利用显微镜和半导体参数测试仪对薄膜电阻的图形线宽及电学特性...
关键词：系统集成 无源集成元件技术 镍铬薄膜电阻 多层薄膜电路工艺 
Pt/Nb∶SrTiO3/In结构异常的双极性电阻变换特性
《半导体技术》2018年第11期863-868,875,共7页王强文 郭育华 
装备预先研究项目(41423070115)
研究了Pt/Nb∶SrTiO3/In结构器件的异常双极性电阻变换特性,并对其物理机理进行了讨论。用直流磁控溅射的方法在不同组分Nb掺杂SrTiO3（NSTO）（001）单晶衬底上制备了Pt和In电极,构建了Pt/NSTO/In异质结。该异质结的I-V特性测试结果表...
关键词：Nb掺杂SrTiO3(NSTO) 双极性阻变 肖特基势垒 氧空位 缺陷能级 
Nd∶BiFeO3/Nb∶SrTiO3异质结的电阻变换效应
《半导体技术》2018年第10期777-781,794,共6页王强文 郭育华 
装备预先研究项目(41423070115)
研究了Nd∶BiFeO3（NBFO）/Nb∶SrTiO3（NSTO）异质结构的电阻变换效应并讨论其铁电阻变换机理。利用脉冲激光沉积（PLD）法在NSTO单晶衬底上生长了NBFO薄膜,并构筑了Pt/NBFO/NSTO异质结构。该异质结器件在电压脉冲扫描下显示出双极性...
关键词：异质结 电阻变换 铁电场效应 极化翻转 势垒调控 
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