袁长坤

作品数：26被引量：65H指数：4
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供职机构：山东理工大学更多>>
发文主题：透明导电薄膜磁控溅射ZNO光电性能ZR更多>>
发文领域：理学电子电信化学工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《电子元件与材料》《半导体技术》《大学物理实验》《人工晶体学报》更多>>
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旋光仪维修及调整
《大学物理实验》2013年第3期36-36,43,共2页穆晓东 袁长坤 
首先提出了旋光仪在使用中出现的故障,经过分析,找出故障原因;说明维修方法以及如何调整仪器的影荫角和零位;使故障仪器不仅迅速恢复使用,而且处于最佳工作状态,同时节省了仪器厂家人员维修仪器的时间和费用。
关键词：旋光仪 起偏器 检偏器 半波片 
柔性PET衬底上低温制备TZO透明导电薄膜被引量：3
《真空科学与技术学报》2012年第9期784-788,共5页刘汉法 张化福 袁长坤 
山东省自然科学基金资助项目(No.ZR2009GL015)
利用直流磁控溅射法,在室温水冷柔性PET衬底上成功制备出了掺钛氧化锌透明导电薄膜(TZO)。通过X射线衍射和扫描电镜等表征方法对薄膜结构和特性进行测试分析,研究了靶与衬底之间的距离(靶基距)对TZO薄膜表面形貌、结构、力学、电学和光...
关键词：柔性TZO薄膜 透明导电薄膜 应力 靶基距 
直流反应磁控溅射法制备ZnO:Zr透明导电薄膜(英文)
《人工晶体学报》2012年第4期977-981,共5页张化福 类成新 刘汉法 袁长坤 
Project supported by the Natural Science Foundation of Shandong Province(ZR2009GQ011)
以Zn∶Zr为靶材,利用直流反应磁控溅射法制备了ZnO∶Zr透明导电薄薄膜。研究了沉积压强对ZnO∶Zr薄膜形貌、结构、光学及电学性能的影响。实验结果表明所制备的ZnO∶Zr为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。沉...
关键词：直流反应磁控溅射 ZnO∶Zr薄膜 透明导电薄膜 沉积压强 
薄膜厚度对ZnO:Ti透明导电薄膜光电性能的影响被引量：2
《太阳能学报》2011年第5期680-683,共4页刘汉法 张化福 袁玉珍 袁长坤 类成新 
山东省自然科学基金(ZR2009GL015)
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出可见光透过率高、电阻率低的掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜。SEM和XRD研究结果表明,ZnO∶Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。讨论了薄膜厚度对掺钛氧化锌透明导电...
关键词：ZnO:Ti薄膜 透明导电薄膜 磁控溅射 光电性能 
玻璃衬底和硅衬底沉积TZO透明导电薄膜的对比研究被引量：4
《太阳能学报》2011年第4期486-489,共4页刘汉法 张化福 袁玉珍 袁长坤 类成新 
山东省自然科学基金(ZR2209GL015)
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底和硅片衬底上制备出掺钛氧化锌（ZnO：Ti）透明导电薄膜。SEM和XRD研究结果表明，两种衬底上的ZnO：Ti薄膜均为为六角纤锌矿结构的多晶薄膜，且具有C轴择优取向。讨论了衬底对掺钛氧化锌透明导电...
关键词：ZnO:Ti薄膜 透明导电薄膜 磁控溅射 光电性能 
铝锆共掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备及特性研究被引量：7
《真空科学与技术学报》2010年第3期306-310,共5页张化福 刘汉法 袁长坤 类成新 
利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的铝锆共掺杂氧化锌(ZAZO)透明导电薄膜。讨论了溅射功率对ZAZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响。实验结果表明,溅射功率对ZAZO薄膜的结构、形貌和电学性能有很大影...
关键词：铝锆共掺杂氧化锌 透明导电薄膜 磁控溅射 溅射功率光电性能 
溅射压强对低阻高透过率掺钛氧化锌透明导电薄膜的影响被引量：11
《人工晶体学报》2010年第1期185-189,共5页刘汉法 袁玉珍 张化福 袁长坤 
山东省自然科学基金(No.ZR2009GL015)
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了高质量的掺钛氧化锌透明导电薄膜(ZnO:Ti)。研究了溅射压强对ZnO:Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,溅射压强对ZnO:Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响。X射线衍射(XRD)表明...
关键词：ZnO:Ti薄膜 透明导电薄膜 溅射压强 磁控溅射 
掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备及特性研究被引量：8
《半导体技术》2009年第11期1092-1095,共4页刘汉法 张化福 袁玉珍 袁长坤 
山东理工大学功能材料创新团队支持计划项目(2006)
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功地制备出了掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜。研究了靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响。X射线衍射(XRD)表...
关键词：掺钛氧化锌 透明导电薄膜 磁控溅射 靶衬间距 
直流磁控溅射法制备掺钛氧化锌透明导电薄膜
《材料导报》2009年第22期87-89,共3页刘汉法 张化福 袁玉珍 袁长坤 
山东理工大学创新团队支持计划(2006)
采用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出高质量的掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜,研究了溅射功率对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响,结果表明,溅射功率对ZnO∶Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响。XRD表明,ZnO∶Ti薄膜为...
关键词：ZnO∶Ti 透明导电薄膜 溅射功率 磁控溅射 
ZnO∶Ti透明导电薄膜的制备与光电性能研究被引量：1
《电子元件与材料》2009年第10期41-43,53,共4页刘汉法 袁玉珍 张化福 袁长坤 类成新 
山东理工大学创新团队支持计划资助项目(No.2006)
采用直流磁控溅射法,在水冷7059玻璃衬底上制备了具有高透射率和相对低电阻率的掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜,研究了溅射偏压对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。结果表明,ZnO∶Ti薄膜为六角纤锌矿多晶结构,具有c轴择优取向...
关键词：ZnO∶Ti膜 透明导电薄膜 偏压 磁控溅射 
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