李洁

作品数:2被引量:4H指数:1
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供职机构:山东理工大学理学院更多>>
发文主题:磁控溅射光电溅射压强溅射功率透明导电薄膜更多>>
发文领域:理学更多>>
发文期刊:《现代物理知识》《真空科学与技术学报》更多>>
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直流磁控溅射法低温制备GZO:Ti薄膜及其光电性能研究被引量:3
《真空科学与技术学报》2012年第4期324-327,共4页郭美霞 李洁 
用直流磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备出了钛镓共掺杂氧化锌(GZO:Ti)透明导电薄膜,研究了溅射压强和功率对GZO:Ti薄膜的微观结构和光电性能的影响。研究结果表明,所制备的GZO:Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。溅...
关键词:GZO:Ti薄膜 透明导电薄膜 溅射压强 溅射功率 磁控溅射 
热熵、物熵和信熵对人类的影响被引量:1
《现代物理知识》2003年第5期8-12,共5页李洁 
关键词:热熵 物熵 信熵 人类 能量传递 物质 
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