非蒸散型吸气剂

作品数：41被引量：138H指数：9
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相关机构：兰州空间技术物理研究所工程吸气公司清华大学中国科学院兰州物理研究所更多>>
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Zr-V-Fe吸气剂动态真空维持性能
《真空科学与技术学报》2025年第1期1-7,共7页唐丽军 王婧华 曹青 王旭迪 
国家重点研发计划项目(2023YFC2205702);国家自然科学基金面上项目(62271187);国家自然科学基金青年基金项目(62101172);中央高校基本科研业务经费项目(JZ2024HGTG0307)。
吸气剂是密闭空间真空长寿命维持的关键,当环境条件发生改变时会导致吸气材料吸放气特性剧烈变化,进而影响真空度,因此研究温度影响下的吸气剂动态真空维持特性具有重要意义。文章利用差压法系统在密闭空间中对不同吸气饱和度的Zr-V-Fe...
关键词：非蒸散型吸气剂 差压法 真空维持性能 吸气性能测试 
基于多孔硅支架的钛锆钒非蒸散型吸气剂薄膜的制备及表征
《真空科学与技术学报》2024年第7期570-576,共7页李宇龙 李伟 王贤艺 曹青 
国家自然科学基金青年基金项目(62101172);中国博士后科学基金项目(2023M743110)。
非蒸散型吸气剂薄膜近年以来在真空领域受到广泛的研究与应用,但有限的吸气速率和吸气容量阻碍了其进一步的发展。文章使用双槽电化学腐蚀法制备了多孔硅支架,再经过直流磁控溅射沉积了非蒸散型钛锆钒吸气剂薄膜,获得三维结构薄膜吸气...
关键词：非蒸散型吸气剂薄膜 多孔硅支架 钛锆钒 吸气性能 
差压法测定NEG吸氢性能
《真空》2024年第3期51-56,共6页王婧华 王蓝陵 林文豫 吴俊 曹青 王旭迪 
国家自然科学基金资助项目(62101172)。
通过对定压法进行改进提出了差压法,用于测试非蒸散型吸气剂(NEG)的吸氢性能。该方法在进气室和吸气室之间安装固定流导元件,利用调节微调阀提供可控的进气流量,通过测量吸气室、进气室和参考室的压力计算NEG的吸气性能参数。利用两种NE...
关键词：差压法 吸氢性能 非蒸散型吸气剂(NEG) 改进的定压法 
一种高性能非蒸散型吸气剂的性能分析
《真空科学与技术学报》2024年第6期503-510,共8页王国栋 刘霄 王姣龙 蔡洋洋 张峰 陈长琦 谢远来 
国家重大科技基础设施项目(2018-000052-73-01-001228)。
非蒸散型吸气剂(NEG)是高真空和超高真空系统维持真空度的重要材料,具有高稳定性和高气体吸附性能,文章采用粉末冶金的方法制备出Zr_(59.46)V_(29.81)Al_(10.73)吸气剂,并基于小孔流导法搭建了一套吸气剂性能测试的高真空系统,分别测试...
关键词：非蒸散型吸气剂 粉末冶金 性能测试 形貌分析 晶相结构 
Ti_(40)Zr_(22)V_(24)Cr_(8)Mn_(6)非蒸散型吸气剂低温激活性能研究
《稀有金属》2024年第5期753-760,共8页于梦婕 熊玉华 吴华亭 刘晓鹏 
国家自然科学基金项目(51671034)资助。
使用电弧熔炼法制备了Ti_(40)Zr_(22)V_(24)Cr_(8)Mn_(6)合金,并通过机械破碎和模压成型法获得了多孔块状吸气剂。X射线衍射(XRD)结果表明Ti_(40)Zr_(22)V_(24)Cr_(8)Mn_(6)合金是由体心立方(bcc)相和C15 Laves相组成的双相结构,扫描电...
关键词：Ti基吸气剂 低温激活 原位X射线光电子能谱(XPS) 体心立方(bcc)相 C15 Laves相 
非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N_(2)气的抽气特性研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2023年第2期79-83,共5页陈千睿 魏萌萌 卢耀文 杨传森 丁双 闫睿 杨振 康朋伟 陈又琦 
北京市科技新星项目(2022115);中关村科技园概念验证项目(20210421075)。
非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制...
关键词：非蒸散型吸气剂泵 抽速 激活 标准气体流量 
HALF银铜管道的多腔TiZrV镀膜初步研究
《真空科学与技术学报》2023年第1期21-28,共8页赵壮 马文静 葛晓琴 王思慧 洪远志 尉健亚 张善才 范乐 
国家自然科学基金项目(11905219);国家自然科学基金项目(12175225)。
NEG镀膜技术可以在狭长的真空腔内实现超高真空,这对衍射极限储存环至关重要。为满足HALF光源工程对NEG镀膜真空腔的进度和质量需求,基于之前的单管NEG镀膜工作,发展了多腔镀膜技术并开展了系列技术研究,利用扫描电子显微镜,原子力显微...
关键词：多腔镀膜 非蒸散型吸气剂 磁控溅射 粒子加速器 
Ti-Zr-V吸气剂薄膜在管道的制备与真空性能研究被引量：1
《强激光与粒子束》2022年第6期78-83,共6页朱邦乐 范乐 洪远志 王思慧 尉伟 王一刚 方键威 王勇 
国家自然科学基金项目(11975226,11905219)。
利用直流磁控溅射方法在单晶硅片和内径为22 mm、长度分别为500 mm和1500 mm的银铜管道内壁镀制了Ti-Zr-V非蒸散型吸气剂薄膜,并对镀膜管道的极限真空进行了测量。结果显示:在180℃下激活24 h后,镀制了Ti-Zr-V薄膜真空管道的极限真空度...
关键词：Ti-Zr-V薄膜 极限真空 磁控溅射 非蒸散型吸气剂薄膜 抽速测量 
可低温激活的钛锆钒非蒸散型吸气剂薄膜的制备及其性能研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2021年第8期739-744,共6页汪志伟 王旭迪 尉伟 王思慧 丁云升 
非蒸散型吸气剂材料是近年来广泛应用于真空领域的一种重要材料,但过高的活化温度限制了它的应用场景。本文使用比例均匀一致的钛锆钒合金作为靶材,经直流磁控溅射沉积了活化性能良好的非蒸散型吸气剂薄膜,使用X射线光电子能谱对薄膜的...
关键词：吸气剂薄膜 使用寿命 活化机理 微观结构 
MEMS芯片器件用非蒸散型吸气剂的研究状况被引量：1
《真空科学与技术学报》2021年第7期674-682,共9页苏童 艾永昌 黄水明 徐凯 侯雪玲 周超 刘兴光 
随着"物联网"时代的来临及智能芯片推出,在全世界范围内掀起了MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)芯片器件发展浪潮。高端的MEMS芯片器件需要在其内部安置吸气剂以维持器件的真空度,它是保证芯片器件长寿命和高灵敏性的关键材料,对...
关键词：MEMS芯片器件 非蒸散型吸气剂 制备工艺 激活温度 吸气性能 
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