测量薄膜表面粗糙度方法的研究  

Two Methods in the Measurement of Surface Roughness

作　　者：李刚[1] 王瑞斌[1] 李慧琴[1] 

机构地区：[1]上海交通大学分析测试中心,上海200030

出　　处：《实验室研究与探索》2006年第11期1355-1357,共3页Research and Exploration In Laboratory

基　　金：上海市纳米专项<纳米生物与电子器件测试技术公共服务平台>(编号:0359nm006)

摘　　要：表面粗糙度是衡量产品表面质量的重要参数,随着表面加工精度的不断提高,产品的表面粗糙度也由微米级别向纳米级别发展。触针式表面轮廓仪是国家标准规定的测量表面粗糙度的方法,而原子力显微镜是测量表面粗糙度的新型仪器。通过对比原子力显微镜和表面轮廓仪的测量结果,分析了表面轮廓仪误差产生的主要原因,并提出了利用原子力显微镜测量薄膜纳米级表面粗糙度的方法。Surface roughness is a very important parameter to value the surface quality of products. Two methods including surface profiler and atomic force microscopy （AFM） were adopted respectively to measure the roughness of BST film and a comparison of distinctive features of the above-mentioned methods in surface roughness measurement was presented.

关 键 词：粗糙度 表面轮廓仪 原子力显微镜 

分 类 号：TB321[一般工业技术—材料科学与工程]