表面轮廓仪

作品数：31被引量：51H指数：4
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
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相关机构：大连理工大学华中科技大学清华大学中国地质大学（北京）更多>>
相关期刊：《润滑与密封》《国外计量》《不锈》《光学精密工程》更多>>
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轮廓仪法测量大镜面及纳精度表面轮廓仪研发
《江西科学》2023年第4期736-739,共4页李剑白 钱石南 李小芸 Mourad Idir 
美国能源部资助;Brookhaven Science Associates LLC授权项目(DE-AC02-98CH10886)。
指出了表面轮廓仪法检测大尺寸光学反射镜的重要意义,论述高精度表面轮廓仪系列分类。新的第3代表面轮廓仪NSP研发解决了较深弯曲反射镜的超高精度测试难题。当ELCOMAT 3000/10自准直仪在50 mm固定距离精密较正后,NSP即可能达到50 nrad ...
关键词：表面轮廓仪 大尺寸反射镜测试 纳精度 第3代表面轮廓仪 
关节软骨在受冲击载荷作用后表面粗糙度变化的实验研究
《医用生物力学》2021年第S01期26-26,共1页刘凯丰 门玉涛 陈炜 张春秋 
天津市自然科学基金项目,18JCYBJC95200,18JCZDJC36100;国家自然科学基金项目,12072235
目的关节软骨是人体"骨骼-运动"的关键部位,软骨的损伤会极大程度上影响人们的生活质量。为探究关节软骨受到冲击载荷后的力学性能,本实验利用表面轮廓仪测量关节软骨表面粗糙度的变化,为软骨疾病的防治提供参考依据。方法取猪骨远端滑...
关键词：软骨下骨 关节软骨 表面粗糙度 法线方向 表面轮廓仪 冲击载荷 膝关节 手术刀 
一种新型表面轮廓仪的设计
《化工自动化及仪表》2021年第2期156-161,共6页赵路路 王庭有 周松斌 
国家自然科学基金青年科学基金项目(6180022835);广东省自然科学基金项目(2020A1515010768);广州市产业技术重大攻关计划(201902010040)。
针对传统表面轮廓测量方法存在的速度慢、测量不准确、对透明物体难以测量及测量信号误差较大且不易处理等问题,设计了一种新型表面轮廓仪。通过温度补偿方法,对电涡流位移传感器进行了温度补偿。基于LabVIEW,设计了人机交互界面。试验...
关键词：表面轮廓仪 电涡流位移传感器 温度补偿 LABVIEW 
中图仪器光学新品带你领略3D“新视界”
《中国计量》2017年第11期129-129,共1页
在半导体、超精密加工及微纳材料等领域,器件的表面质量直接关系着后期的产品质量和研究成果,中图仪器Super View W1系列光学3D表面轮廓仪,是一款分辨率达到亚纳米级别的光学检测仪器,助您轻松实现2D/3D表面粗糙度、轮廓测量,超高精度,...
关键词：光学检测仪器 3D 视界 超精密加工 Super 表面轮廓仪 表面粗糙度 研究成果 
MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较被引量：3
《传感器与微系统》2015年第10期15-17,21,共4页陈莉 尹鹏和 
精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm^100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测...
关键词：薄膜厚度 接触式表面轮廓仪 光谱椭偏仪 
基于Wyko NT1100表面轮廓仪的光纤端面检测被引量：2
《计量与测试技术》2013年第3期35-36,共2页徐兵 
采用表面轮廓仪测定了光纤和湿法刻蚀加工的单模与多模光纤端面粗糙度,并与光学显微镜检测的结果进行了对比。结果表明:表面轮廓仪表适合检测光纤端面及刻蚀加工后的三维特征,反映湿法刻蚀加工光纤端面的刻蚀深度和微腔形貌。
关键词：光学轮廓仪 光纤端面 粗糙度 湿法刻蚀 
立式靶丸AFM表面轮廓仪系统精度测试被引量：3
《原子能科学技术》2012年第8期1014-1018,共5页赵学森 高党忠 马小军 孟婕 唐永建 张林 孙涛 
国家自然科学基金资助项目(51005061);教育部新教师博士点基金资助项目(20092302120006)
研制了立式轴系结构靶丸AFM表面轮廓仪,对测量装置的精度进行了系统的测试。针对影响测量结果的不确定性因素,分别从气浮轴系回转误差、系统静态噪声误差以及综合测量误差几个角度开展实验研究。采用标准球及两步回转误差分离法获取了...
关键词：ICF靶丸 AFM 表面轮廓仪 立式轴系结构 测量精度 
佰汇兴业独家代理德国BMT产品
《现代零部件》2012年第5期14-14,共1页
佰汇兴业（北京）科技有限公司于2011年获得德国BMT公司在中国的独家代理授权。德国BMT公司多年从事光学、接触式表面轮廓仪及粗糙度测量仪器的研发与生产，先后为奔驰、宝马、大众、奥迪、道依茨、马勒和采埃孚等公司定制先进的表面测...
关键词：BMT 德国 代理 表面轮廓仪 产品 测量仪器 测量设备 粗糙度 
表面轮廓仪在光纤端面观测中的应用
《黑龙江科技信息》2011年第24期85-85,共1页徐兵 
采用表面轮廓仪测定了光纤和湿法刻蚀加工的多模单模与多模光纤粗糙度数据。结果表明:表面轮廓仪表适合检测光纤及刻蚀加工后的2D与3D特征,反映刻蚀深度和微腔形貌。
关键词：光学轮廓仪 粗糙度 光纤端面 
SiO2保护膜对高反膜激光损伤特性的改善被引量：5
《强激光与粒子束》2010年第12期2860-2864,共5页刘晓凤 李笑 赵元安 李大伟 邵建达 范正修 
国家高技术发展计划项目
为了研究高功率系统中高反膜的损伤机制,对高功率系统中最常用的基频高反膜进行了损伤实验。利用台阶仪、扫描电镜、表面轮廓仪等手段,对实验样品的典型损伤形貌进行了比较和分析。结果表明:保护膜的存在增强了样品的抗激光损伤能力;未...
关键词：SIO2 保护膜 高反膜 抗激光损伤 损伤特性 实验样品 破坏形貌 脉冲辐照 功率系统 典型 表面轮廓仪 特性差异 损伤形貌 损伤机制 扫描电镜 热力作用 力学作用 等离子体 剥落损伤 性损伤 
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