基于Wyko NT1100表面轮廓仪的光纤端面检测  

Testing the Ends of Optical Fibers Surface Profiler by Wyko NT1100

作　　者：徐兵[1] 

机构地区：[1]陕西理工学院物电学院,陕西汉中723000

出　　处：《计量与测试技术》2013年第3期35-36,共2页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：采用表面轮廓仪测定了光纤和湿法刻蚀加工的单模与多模光纤端面粗糙度,并与光学显微镜检测的结果进行了对比。结果表明:表面轮廓仪表适合检测光纤端面及刻蚀加工后的三维特征,反映湿法刻蚀加工光纤端面的刻蚀深度和微腔形貌。

关 键 词：光学轮廓仪 光纤端面 粗糙度 湿法刻蚀 

分 类 号：TN253[电子电信—物理电子学]