中图仪器光学新品带你领略3D“新视界”  

出　　处：《中国计量》2017年第11期129-129,共1页China Metrology

摘　　要：在半导体、超精密加工及微纳材料等领域,器件的表面质量直接关系着后期的产品质量和研究成果,中图仪器Super View W1系列光学3D表面轮廓仪,是一款分辨率达到亚纳米级别的光学检测仪器,助您轻松实现2D/3D表面粗糙度、轮廓测量,超高精度,＂纳＂么简单。

关 键 词：光学检测仪器 3D 视界 超精密加工 Super 表面轮廓仪 表面粗糙度 研究成果 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]