硅微机械陀螺的差分电容信号处理技术  

Different Capacitive Signal Processing Technology of Micromechanical Silicon Gyroscope

作　　者：王晓兰[1] 武云[2] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001 [2]中国船舶重工集团公司第七六○研究所

出　　处：《计量与测试技术》2006年第11期16-18,共3页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：本文针对电容式微机械陀螺的接口电路设计、闭环驱动、微弱信号检测和处理等问题开展研究。在充分满足陀螺本身工作需要的基础上设计并实现了它的接口电路。同时进行了初步的实验分析。得到的结果显示它基本完成了驱动陀螺并且解调检测陀螺信号的功能,并且取得了测试结果。

关 键 词：微机械陀螺 电容检测 接口电路 

分 类 号：TH703[机械工程—仪器科学与技术]