应用材料为8．5代平面显示器制造商推出高产能生产系统  

出　　处：《半导体技术》2006年第12期961-961,共1页Semiconductor Technology

摘　　要：应用材料公司平面显示事业部AKT近日宣布推出第一批在全球最大的8.5代玻璃基板上制造大尺寸LCD电视屏幕的平面显示器生产系统。全新设计的AKT-55K EBT（电子束检测），AKT-55K PECVD（等离子加强化学气相沉积）和AKTNEW ARISTO^TM 2200彩色滤光板溅射系统在8.5代基板上实现了制造6块55英寸LCD电视屏的高效率生产。

关 键 词：应用材料公司 平面显示器 生产系统 制造商 产能 化学气相沉积 电视屏幕 玻璃基板 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]