反应溅射法制备的软磁铁氮膜  

作　　者：肖春涛[1] 韩建平[1] 耿胜利[1] 杨正 陈子瑜[1] 

机构地区：[1]兰州大学物理系

出　　处：《磁记录材料》1996年第1期23-25,共3页Magnetic Recording Materiais

摘　　要：用反应溅射法在Ar＋N2混合气氛中制备了软磁性铁氮膜，并对样品进行了真空退火热处理。考察了制备条件和热处理对铁氮膜的微结构和软磁性能的影响。发现氮气的加入导致了晶粒尺寸减小和软磁性能改善。

关 键 词：磁头 软磁铁氮膜 反应溅射 制备 

分 类 号：TQ586.2[化学工程—精细化工]