上海EBIT装置低温超导段超高真空系统  

UHV SYSTEM IN SHANGHAI EBIT CRYO-SUPERCONDUCTION CHAMBER

作　　者：张海鸥[1] 李炜[1] 郭盘林[1] 安双利[1] 陈永林[1] 朱希凯[1] 路迪[2] 邹亚明[2] 

机构地区：[1]中国科学院上海应用物理研究所,上海201800 [2]复旦大学现代物理研究所,上海200433

出　　处：《真空与低温》2006年第4期207-209,230,共4页Vacuum and Cryogenics

基　　金：国家杰出青年科学基金(10125520)资助

摘　　要：介绍了上海电子束离子阱实验装置(EBIT)低温超导段常温和低温的真空获得系统设计,通过溅射离子泵和低温冷面的冷凝抽气系统达到了所需真空要求。系统的真空调试结果表明,常温下极限真空达到10-6 Pa,液氦低温下在离子阱外围区域测量值是5×10-8 Pa。离子阱区的压力是通过建立区域气体流动模型计算得到。结果预示,在离子捕集区真空度能达到10-10 Pa的设计指标。The vacuum system design of Shanghai EBIT cryo-conduction segment is reported, Sputter ion pump and condensation surface are desirable to serve as pumping system. Vacuum system test results indicates ultimate pressure in outermost region achieve 10-6 Pa in warm condition and 10^-8 Pa in cold condition, Pressure in the ion trap is evaluated by establishing gas flow model. It is predicated to be 10^-10 Pa that meet physical demands.

关 键 词：超高真空 低温抽气 EBIT 

分 类 号：TB751[一般工业技术—真空技术]