日立X-650扫描电镜故障检查  

作　　者：周杏弟[1] 

机构地区：[1]南开大学测试中心

出　　处：《电子显微学报》1990年第3期265-265,共1页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

摘　　要：扫描电子显微镜在现代仪器分析中所占的地位是众所周知的。如何正确的使用和维护好这种大型精密仪器,充分发挥该仪器的特点,使它完好的为生产和科研服务,其中仪器维修是日常工作的一项重要内容。以下简要介绍一些近几年中,我们使用日立X-650扫描电子显微镜时所遇到的故障及检查维修方法。1.CRT1图象显示屏全帧快速扫描不稳定:现象:刚开机时CRT1在全帧快速扫描控光栅显示正常,但工作一段时间后光栅开始变成一纵向窄带,并有明显的纵向条状亮线。观察图象本身并无形变,只是被亮线所掩盖,图象变得模糊不清。这种现象会经常反复,有时可以自动恢复正常,但不久又会出现变窄的现象。用慢速扫描各档观察图象时均显示正常。

关 键 词：扫描电镜 故障 检查 日立 X-650型 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]