谈蚀刻设备与真空蚀刻机  

作　　者：龚永林[1] 

机构地区：[1]上海美维科技有限公司

出　　处：《印制电路资讯》2007年第1期56-59,共4页Printed Circuit Board Information

摘　　要：本文叙述了蚀刻机的发展，及其传送、摆动、喷嘴等主要结构的变化与对蚀刻效率的影响。同时介绍真空蚀刻机结构与功效。

关 键 词：蚀刻设备 传送 摆动与喷嘴 真空蚀刻机 

分 类 号：TN410.57[电子电信—微电子学与固体电子学]