TDG—28型大直径区熔单晶炉  

作　　者：盛耀昌 

机构地区：[1]东风电机厂

出　　处：《东方电气评论》1990年第4期270-273,269,共5页Dongfang Electric Review

摘　　要：本文介绍了TDG-28型大直径区熔单晶炉的主要技术指标和性能特点。该炉在一定的工艺条件下可以稳定生产直径为75mm～100mm的高阻率无位错单晶硅。由于采用铸铁件结构使该设备具有一定的防震吸震能力,故无需安装庞大的减震器防震基座。在国内首次使用晶体夹持机构和伸缩炉体是该炉的两个重要特点。采用可控硅链式触发器进行可控硅调压,使高频振荡器输出功率稳定性好,效率高,且有较好的节能效果。

关 键 词：区熔炉 单晶炉 大直径 冶金炉 

分 类 号：TF806.9[冶金工程—有色金属冶金]