光敏面积对小光斑法测量光谱响应率的影响  

Effects of the photo-sensitive area on spectrum response in small optical beam method

作　　者：杨叶飞[1] 董金珠[1] 张学敏[1] 梁平治[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海技术物理研究所

出　　处：《红外与激光工程》2007年第2期219-221,共3页Infrared and Laser Engineering

摘　　要：通过对光电二极管结构和工作原理及光谱响应特性的分析,探讨了在相同工艺条件下,硅光电探测器的小光斑法测试过程中,不同大小光敏面得到不同光谱响应曲线问题。参考一维分析,建立了简化的二维分析方法,并做出定性的分析以及定量的计算,得到与测试一致的结果:光敏面积对响应率的光谱特性的影响为短波基本无变化,长波随光敏面积的减小而减小,为以后的测试改进提供了参考。Different area of the photodiode will have different spectrum response during the test using small optical beam method. A semi-quantitative analysis is proposed to find the essential of the phenomenon. A simple two dimension analysis method is introduced, The results show that the spectrum response changes little at short wave lengths when the photodiode area changes, but reduces significantly at the long wave lengths for the same changes.The analyses agree well with the test results.

关 键 词：光谱响应 小光斑法 硅光电探测 横向扩散 光敏面 测试 

分 类 号：TN364.1[电子电信—物理电子学]