超高真空扫描隧道显微镜控制系统的分析研究  

Analysis and Study of Ultra high Vacuum Scanning Tunneling Microscope Control System

作　　者：江月山[1] 王晓光[1] 杨乃恒 刘宁[2] 杨海强 石自光 庞世瑾[2] 

机构地区：[1]东北大学 [2]中国科学院北京真空物理实验室

出　　处：《真空》1997年第1期11-14,共4页Vacuum

摘　　要：本文用根轨迹法和尼柯尔斯图法对超高真空扫描隧道显微镜的控制系统进行了分析研究，结果表明，在控制系统中加入积分环节和单极低通滤波环节以后，大大地改善了ＵＨＶ－ＳＴＭ系统的性能，在压电陶瓷的机械共振频率附近。An analysis and study of an ultra high vacuum scanning tunneling microscope(UHV STM)control system by Root Locus and Nichols approaches is given. The control loop incorporates an integrator and a single pole low pass filter. Analysis and study show that such a compensation scheme provides near optimal behavior of the control loop and deals with mechanical resonance in a particularly satisfactory manner.

关 键 词：超高真空 扫描隧道显微镜 表面分析 显微镜 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]