可见光区三层减反射膜的设计  

Design of three-layer anti-reflecting film in the wavelengthrange of 350～750nm

作　　者：梁厚蕴[1] 杜军[1] 夏志华 

机构地区：[1]汕头大学科学院非晶半导体组,北京有色金属研究总院粉末所

出　　处：《汕头大学学报（自然科学版）》1997年第1期75-78,88,共5页Journal of Shantou University：Natural Science Edition

摘　　要：本文通过对可见光区减反射薄膜材料的选择和设计，采用计算机模拟，找出了在３５０～７５０ｎｍ范围内具有最好光谱中性的减反射膜系ＳｉＯ２ＴｉＯ２ＳｉＯ２玻璃基底。A thin film with three-layer structure , which possesses anti-reflecting func- tion in the visible light region , has been selected for further design by compuer simula- tion. Results show that the structure of SiO2 (84 A ) TiO2 ( 130A ) SiO2 ( 160A ) glass substrate possesses excellent spectral characteristics , with mean reflectivity R<1. 2 %, in the wavelength range of 350nm～750nm.

关 键 词：减反射薄膜 可见光区 计算机模拟 设计 薄膜 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理]