薄膜的表面修饰对气体敏感特性的影响￣①  

作　　者：戴国瑞[1] 管玉国[1] 焦伯恒[1] 南金[1] 孙太玺 朱勇 韩征 许秀来 

机构地区：[1]吉林大学电子工程系

出　　处：《云南大学学报（自然科学版）》1997年第1期93-95,共3页Journal of Yunnan University(Natural Sciences Edition)

摘　　要：采用ＰＥＣＶＤ方法制备了氧化物簿膜，为了改善气体敏感特性，将几种元素覆盖于薄膜表面进行了表面修饰。

关 键 词：表面修饰 薄膜 氧化物半导体 气敏特性 

分 类 号：TN304.21[电子电信—物理电子学]