可编程控制器在强流离子注入机真空系统中的应用  

Applications of Programmable Controller to the Vaccum System of High Current Ion Implanter

作　　者：沈雨 

机构地区：[1]电子部第四十八研究所,长沙410111

出　　处：《电子器件》1997年第1期482-487,共6页Chinese Journal of Electron Devices

摘　　要：本文介绍了以可编程控制器SYSMAC-C200H为核心的真空控制系统,描述了控制系统的要求、组成及系统软件、硬件的设计思想和故障指示.The vaccum control system whose core is SYSMAC- C200H programmable con controller isintroduced. Its requirements, composition , hardware and software design ideas and error in -dications for the controller are described.

关 键 词：可编程控制器 强流离子注入机 真空系统 

分 类 号：TN305.3[电子电信—物理电子学] TN105