强流离子注入机

作品数：8被引量：6H指数：1
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强流离子注入机加速管的聚焦特性研究
《强激光与粒子束》2003年第8期830-832,共3页刘晓芝 孙利平 王应德 陈林 
　讨论了三间隙强流离子加速管的聚焦特性,计算了各种能量下离子束聚焦情况,并分析了抑制空间电荷效应所需要的电场强度。最后总结了三间隙加速管设计和调试应注意的问题。
关键词：强流离子束 加速管 聚焦特性 空间电荷效应 
LC-11型强流离子注入机晶片电荷积累效应分析被引量：2
《微细加工技术》1998年第2期14-17,共4页陈林 
通过讨论强流离子注入过程中晶片电荷积累所引起的一系列问题，分析了ＬＣ－１１型强流离子注入机防晶片电荷积累的有效性。
关键词：强流离子注入机 晶片电荷积累 电子淋浴器 ULSI 
LC-11型强流离子注入机剂量控制器被引量：1
《微细加工技术》1997年第4期12-18,共7页杨建生 
本文介绍了LG－11型强流离子注入机全机械扫描剂量控制器的工作原理，硬件结构和软件框图。
关键词：强流离子注入机 剂量控制器 微电子技术 
用于强流离子注入机的磁分析器电源设计被引量：1
《微细加工技术》1997年第4期19-24,共6页孙雪平 
本文简要介绍了该电源的指标及电路．并详细论述了提高电源稳定度和可靠性的方法和措施，最后给出了测试结果和运行情况。
关键词：强流离子注入机 磁分析器 电源 微电子技术 
强流离子注入机晶片电荷积累及控制
《LSI制造与测试》1997年第3期23-26,35,共5页陈林 
分析了离子注入机中晶片电荷积累的物理机理，介绍了强流离子注入机中控制晶片电荷积累的方法，并讨论了强流离子注入机设计应注意的问题。
关键词：强流离子注入机 电荷积累 晶片 离子注入 
全机械扫描强流离子注入机重复性研究被引量：2
《微细加工技术》1997年第1期26-30,共5页陈林 杨建生 颜享迪 
对影响全机械扫描强流离子注入机剂量重复性的因素进行了分析。对束流纹波的影响建立了数学模型，计算了束流纹波对剂量重复性的影响。结果表明只要束流纹波在9％以内，剂量重复性可控制在1％以下。
关键词：强流离子注入机 全机械扫描 剂量重复性 
可编程控制器在强流离子注入机真空系统中的应用
《电子器件》1997年第1期482-487,共6页沈雨 
本文介绍了以可编程控制器SYSMAC-C200H为核心的真空控制系统,描述了控制系统的要求、组成及系统软件、硬件的设计思想和故障指示.
关键词：可编程控制器 强流离子注入机 真空系统 
适应下一代器件用的强流离子注入机“IP—2500”
《微细加工技术》1991年第3期80-86,共7页宇佐见康继 小池英已 田村丰一郎 仲田义广 吴明华 
一般都认为现在批量生产的4M DRAM是主要推动技术发展的存储器,它加快了16MDRAM,64MDRAM半微米之后的器件开发,随着器件的高集成化的发展,对强流离子注入机的依赖性越发高,而且还必须适应严格的工艺要求,特别是随着器件的微细化,浅结技...
关键词：离子注入机 强流离子 
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