LC-11型强流离子注入机剂量控制器  

DOSE CONTROLLER FOR LC11 HIGH-CURRENT ION IMPLANTER

作　　者：杨建生[1] 

机构地区：[1]电子工业部第48研究所,长沙410111

出　　处：《微细加工技术》1997年第4期12-18,共7页Microfabrication Technology

摘　　要：本文介绍了LG－11型强流离子注入机全机械扫描剂量控制器的工作原理，硬件结构和软件框图。This paper describes the Operating principle ,hardware and software structure of dose controller for LC11 high current ion implanter in which full mechnical scan is adopted

关 键 词：强流离子注入机 剂量控制器 微电子技术 

分 类 号：TN305.3[电子电信—物理电子学]