相干分辨外差干涉法的光学系统表面检测  

Optical Surface Measurements with a Coherent Resolved Heterodyne Interferometer

作　　者：孙东松[1] 刘世刚[1] 赵远[1] 蔡喜平[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学应用物理系

出　　处：《红外技术》1997年第2期37-40,33,共5页Infrared Technology

摘　　要：提出了一个用相干分辨的外差干涉仪进行光学系统表面检测的方法。利用相干长度短的光源和位置探测器。该方法具有表面选择性。A coherent resolved heterodyne interferometer was used to check surfaces of optical objects Owing to a short coherencel ength light source and a position sensitive detection device,the measurements showed high resolution and short measuring time

关 键 词：外差干涉仪 表面检测 位置探测器 光学系统 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程] TN215[机械工程—仪器科学与技术]