氮化铝基片生产工艺技术  

作　　者：崔嵩[1] 黄岸兵[1] 

机构地区：[1]电子部43所

出　　处：《混合微电子技术》1997年第1期1-3,共3页Hybrid Microelectronics Technology

摘　　要：本文讨论了氮化铝基片生产工艺中的一些问题。

关 键 词：氮化铝基片 IC 制造工艺 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]