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作 者:姜月顺[1] 王雅静[1] 戴国瑞[1] 董玺娟 汤大新[1] 诸真家[1] 李铁津
机构地区:[1]吉林大学,130023
出 处:《高等学校化学学报》1990年第11期1298-1300,共3页Chemical Journal of Chinese Universities
基 金:国家自然科学基金
摘 要:等离子体化学气相沉积(PCVD)法可制备多孔柱状结构的SnO2超微粒非晶薄膜,本文研究了薄膜在真空吸附体系中的膜电阻和IR谱随温度变化特性及乙二醇、正丙醇、异丙醇、乙醇和甲醇的气敏灵敏度,提出SnO2薄膜上吸附氧O2-、O-对醇的氧化机理 1实验与结果 自制PCVD装置抽空后充入40 Pa的O2,加高频出现辉光。In this article, the porous columned SnO2 ultrafine particle thin films are prepared on silicon by PCVD technique. The variations of XPS, IR and film electrical resistance are researched during the gas adsorption, desorption and oxidation process on the film surface. After the analysis of alcohol the oxidation mechanism induced by the adsorbed O- and O2- on the film surface is proposed. The results of gas-sensitive properties of SnO2 ultrafine particle film are explained satisfactorily.
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