二氧化锡薄膜

作品数:50被引量:161H指数:7
导出分析报告
相关领域:电子电信理学更多>>
相关作者:林殷茵刘祖黎李建平高晓光方国家更多>>
相关机构:华南理工大学华东师范大学上海大学中国科学院电子学研究所更多>>
相关期刊:《发光学报》《硅酸盐通报》《广西师范大学学报(自然科学版)》《传感技术学报》更多>>
相关基金:国家自然科学基金浙江省分析测试基金陕西省自然科学基金河北省应用基础研究计划更多>>
-

检索结果分析

结果分析中...
条 记 录,以下是1-10
视图:
排序:
射频磁控溅射制备二氧化锡薄膜的气敏特性
《传感器与微系统》2023年第3期53-56,共4页刘文强 吴鹏举 王瑗瑗 陈庭煜 马鸿雁 王国东 
河南省高校科技创新团队支持计划资助项目(21IRTSTHN016);河南省高校基本科研业务费专项资金资助项目(NSFRF210324)。
采用射频(RF)磁控溅射法在P型硅衬底上制备了具有良好电学特性和气敏特性的二氧化锡(SnO_(2))纳米薄膜。在溅射气压分别为0.1,1.0,2.5 Pa的条件下,制备了不同表面形貌的SnO_(2)薄膜,详细分析了溅射气压对SnO_(2)薄膜表面生长、PN结的伏...
关键词:射频磁控溅射 二氧化锡薄膜 PN结 电学性能 
退火温度对旋涂法制备SnO_2薄膜性能的影响被引量:3
《发光学报》2019年第2期164-170,共7页张旭 刘贤哲 袁炜健 邓宇熹 张啸尘 王爽 王佳良 宁洪龙 姚日晖 彭俊彪 
国家重点研发计划(2016YFB0401504);国家自然科学基金(51771074;51521002;U1601651);国家重点基础研究发展规划项目计划(973计划)(2015CB655004);广东省自然科学基金(2016A030313459;2017A030310028);广东省科技计划(2016B090907001;2016A040403037;2016B090906002;2017B090907016;2017A050503002);广州科技计划(201804020033)资助项目~~
采用旋涂法在玻璃基底上制备SnO_2薄膜,通过原子力显微镜(AFM)、X射线反射(XRR)、傅氏转换红外线光谱仪(FT-IR)、X射线衍射(XRD)、紫外-可见分光光度计、四探针、开尔文探针系统对薄膜的表面形貌、结构及光学特性、电学特性进行分析,探...
关键词:二氧化锡薄膜 旋涂法 退火 光学特性 电学特性 
掺杂对二氧化锡薄膜光电性能的影响被引量:8
《硅酸盐学报》2018年第4期590-597,共8页王立坤 郁建元 王丽 牛孝友 付晨 邱茹蒙 晏伟静 赵洪力 
国家重点研发计划资助项目(NO.2016YFB0303902);河北省应用基础研究计划重点基础研究资助项目(17961109D)
二氧化锡(SnO2)是一种重要的透明导电金属氧化物半导体材料,掺杂可使其光电性能得到显著改善,拓展其应用领域。分析了SnO2薄膜的导电机制、载流子散射机理及近年来国内外学者对不同类型掺杂的SnO2薄膜的研究。掺杂引入的缺陷能级增...
关键词:二氧化锡薄膜 掺杂 导电机制 散射机理 光电性能 
不同氟源对FTO薄膜结构和性能的影响
《燕山大学学报》2017年第4期365-370,共6页王立坤 郁建元 杨静凯 王丽 牛孝友 赵洪力 
国家重点研发计划资助项目(2016YFB0303902);河北省应用基础研究计划重点基础研究资助项目(17961109D);国家自然科学基金资助项目(51602278);河北省自然科学基金资助项目(E2016203149)
采用喷雾热解法制备了氟掺杂的二氧化锡(fluorine-doped tin oxide,FTO)薄膜,氟源分别为NH_4F、SnF_2、CF_3COOH和HF。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜对薄膜微观结构和表面形貌进行了表征;用四探针电阻仪、霍尔效应仪和紫外分光光度...
关键词:二氧化锡薄膜 掺杂  喷雾热解 光电性能 
二氧化锡薄膜:制备及在室温下气敏性质(英文)被引量:2
《无机化学学报》2014年第2期451-458,共8页郝沛沛 陈长龙 魏玉玲 穆晓慧 
国家自然科学基金(No.20901029)资助项目;the Promotive Research Fund for Excellent Young and Middle-aged Scientists of Shandong Province (No. BS2009CL018)~~
利用溶胶-凝胶法首先在玻璃基片上制备了氧化锡晶种膜,之后采用溶剂热法在其上生长了致密的氧化锡薄膜。利用扫描电子显微镜和X射线衍射技术对氧化锡薄膜的形貌和晶体结构进行了表征,结果表明构成薄膜的氧化锡晶粒具有四方锡石结构,...
关键词:薄膜 X-射线衍射 半导体 气体传感器 
正交相二氧化锡薄膜的制备与性能被引量:2
《上海大学学报(自然科学版)》2013年第1期95-99,共5页陈琛 王利军 陈志文 焦正 吴明红 
国家自然科学基金资助项目(11025526;41073073);上海市重点学科建设资助项目(S30109);上海市科委基金资助项目(10JC1405400;09530501200)
二氧化锡(SnO_2)的一种晶体结构——正交相是高温高压相,不易合成,因此,其性质探测和技术应用研究一直停滞不前.利用脉冲激光沉积(pulsed laser deposition,PLD)技术,在相对较低压力和较低温度下制备较纯的正交相SnO_2薄膜.实验结果表明...
关键词:二氧化锡SnO2 正交相 薄膜 脉冲激光沉积 
热喷涂法制备Sb掺杂的SnO_2薄膜被引量:2
《陕西科技大学学报(自然科学版)》2010年第3期28-30,共3页陈小龙 蒲永平 吴胜红 赵新 吴海东 
教育部科学技术研究重点项目(209126);陕西省科技攻关项目;陕西科技大学研究生创新基金项目
以SnCl4·5H2O和SbCl3为原料,采用喷雾热分解法在管状石英玻璃基材上制备出Sb掺杂的SnO2透明导电薄膜,并采用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和表面形貌进行了分析,研究了Sb掺杂量和喷涂温度对薄膜方阻及结构的影响....
关键词:热喷涂法 锑掺杂 二氧化锡薄膜 
基于溶胶凝胶法ITO薄膜材料的制备与表征被引量:2
《齐齐哈尔大学学报(自然科学版)》2010年第3期45-47,共3页宣鑫科 陶佰睿 张健 
基于溶胶凝胶法制备了掺铟二氧化锡(ITO)薄膜,探讨聚乙二醇(PEG)、退火温度、退火过程氧气浓度等因素对ITO薄膜性能的影响。实验结果表明:在相同实验条件下,添加PEG能够降低ITO薄膜表面粗糙度,退火温度会改变ITO薄膜的结晶度,提高含锡...
关键词:溶胶凝胶 二氧化锡薄膜 聚乙二醇 氧浓度 薄膜电阻率 
掺锑二氧化锡薄膜的喷雾热解法制备与热处理被引量:4
《半导体光电》2008年第3期357-360,364,共5页肖功利 杨宏艳 
以SnCl4·5H2O和SbCl3为原料,采用喷雾热解法在玻璃基片上制备了掺锑二氧化锡(SnO2:Sb)透明导电薄膜。用X光电子能谱分析仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)和紫外一可见光吸收谱仪分别对样品进行了表征,且对其结构、电学和光学特性作...
关键词:SnO2:Sb薄膜 喷雾热解法 外延生长 光电特性 热处理 
喷雾热解法制备掺锑二氧化锡薄膜及其性能表征被引量:2
《内蒙古科技大学学报》2008年第2期137-139,共3页侯环宇 王正德 李保卫 
用喷雾热解法将掺杂锑的氯化亚锡溶液喷射到预先加热的玻璃管衬底上,制备了掺锑氧化锡透明导电薄膜.采用X射线衍射仪和扫描电镜分别对薄膜的结构和表面形貌进行了表征.研究了不同掺锑量对薄膜点电阻的影响及在可见光范围内与透光率之间...
关键词:喷雾热解法 SNO2 Sb薄膜 光电性能 
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部