M5525100-1/UM型大角度离子注入机  

机构地区：[1]北京中科信电子装备有限公司

出　　处：《中国集成电路》2007年第7期46-47,共2页China lntegrated Circuit

摘　　要：1、产品及其简介 M5525100—1／UM型大角度离子注入机可满足100纳米，8英寸集成电路制造工艺的要求，适合源漏区的大角度晕、袋、栅阈值调整、阱等注入，可获得良好的注入均匀性、重复性。M5525100—1／UN型大角度离子注入机突破了离子注入机设计与制造的关键技术，在离子注入机的总体设计与集成、自动化与可靠性设计等核心技术上取得突破。整机包括束线系统、电源系统、靶室系统、辅助系统、控制系统等五大系统。

关 键 词：离子注入机 大角度 集成电路制造工艺 M型 电源系统 总体设计 可靠性设计 辅助系统 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]